Occasion NRC / VARIAN 3117 #293621573 à vendre en France

Le CNRC/VARIAN 3117 est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour le dépôt efficace de couches minces et de membranes de divers matériaux. Il peut être utilisé pour fabriquer divers types de couches minces et membranes, telles que celles en métaux, semi-conducteurs, diélectriques et polymères. Le système est composé de deux composants principaux : la source de pulvérisation et la chambre à vide. La source de pulvérisation est un puissant magnétron avec trois magnétrons planaires et deux aimants rotatifs qui génèrent un champ magnétique intense. Ce champ magnétique provoque une cascade d'électrons énergétiques dans la chambre source. Ces électrons bombardent le matériau cible et éjectent les atomes de sa surface, créant ainsi un nuage d'atomes neutres. Ce nuage d'atomes, ou plasma, est ensuite transféré dans la chambre à vide, où il dépose des couches minces ou des membranes sur le substrat. La chambre à vide est une cuve cylindrique en acier inoxydable capable d'atteindre une pression de base de 1 x 10-6 Torr ou inférieure. Il abrite une installation de substrat, des bras de support, une buse réglable manuellement, des chauffages et des résistances pour le contrôle de la température, et d'autres composants auxiliaires. L'installation du substrat est constituée d'un support de substrat tournant, d'une vitesse de rotation jusqu'à 1000 tr/min et d'un porte-plaquettes optionnel. Les bras de support maintiennent la buse en place et le porte-plaquettes optionnel fournit une surface stable pour le dépôt de couches minces. Le contrôle de la température est assuré par l'utilisation de chauffages et de résistances placés dans l'installation du substrat. De plus, l'unité CNRC 3117 dispose d'un panneau de commande complet pour régler les paramètres, surveiller les performances et contrôler la machine. Le panneau est composé d'une unité de traitement, d'une carte de contrôle analogique et d'une carte de contrôle numérique. L'unité de traitement permet à l'utilisateur de définir des paramètres tels que la puissance, le matériau cible et le taux de dépôt, tandis que les tableaux de contrôle analogique et numérique surveillent et régulent les performances de l'outil. En bref, VARIAN 3117 est un atout de pulvérisation fiable qui fournit une précision et un contrôle supérieurs lors de la fabrication de films et membranes minces. Il offre un dépôt efficace d'une grande variété de matériaux et son panneau de commande sophistiqué permet aux utilisateurs de surveiller et d'optimiser les performances du modèle. Avec ses caractéristiques avancées et ses performances fiables, 3117 est un choix idéal pour la fabrication de films minces et de membranes.