Occasion NRC / VARIAN 3117 #293625152 à vendre en France

L'équipement NRC/VARIAN 3117 est un système de pulvérisation perfectionné capable de produire des films minces multicouches complexes. Il comprend plusieurs composants différents, à savoir une chambre de pulvérisation, un loadlock cible et une unité de pompage à vide variable. La chambre de pulvérisation est une chambre en acier inoxydable entièrement fermée et refroidie à l'eau. Il est équipé de deux sources planaires, à double magnétron et à commande numérique. Ceci permet de pulvériser des formes cibles précises et précises avec des taux de dépôt très élevés. Le loadlock cible est une chambre automatisée robuste pour le transport de matériaux de pulvérisation dans la chambre de pulvérisation. Il dispose également d'une capacité d'adaptation de charge qui permet le transfert de matériaux avec une pression de retour minimale. La machine de pompage à vide variable assure un contrôle optimal du procédé et permet une grande diversité de solides et de gaz à pulvériser. L'outil intègre également plusieurs caractéristiques spécifiques au processus, telles qu'un ensemble porte-échantillons, un équipement de réfrigération en cycle fermé et des capacités de nettoyage et de dégazage des échantillons en pulvérisation. Dans l'ensemble, le modèle de pulvérisation thermique CNRC 3117 est une technologie de pointe capable de produire des films minces multicouches complexes de haute qualité avec une précision, une répétabilité et une fiabilité optimales.