Occasion NRC / VARIAN 3117 #3842 à vendre en France
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ID: 3842
Filament evaporator
18" Diameter x 28" Pyrex bell jar
8" CTI Cryopump
CTI Compressor ion/TC gauge
Thickness monitor
Power supplies
Filament sources
2-Stage direct drive roughing pump.
Le CNRC/VARIAN 3117 est un équipement de pulvérisation à haute performance conçu pour produire des dépôts en couches minces sur divers substrats. Le système est capable de déposer plus de 500 Angströms par minute et est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, ainsi que dans les industries de l'optique, du MEMS et des couches minces. Le CNRC 3117 dispose d'une source de pulvérisation à courant continu pulsé optimisée avec une configuration magnétron. Cette configuration permet de contrôler avec précision le dépôt de couches minces avec une couverture uniforme sur les substrats. L'unité comprend également une source de pulvérisation unique qui peut être configurée pour une pulvérisation de type gaz ou couche. VARIAN 3117 est équipé de capacités avancées de contrôle des dépôts, telles que la capacité de surveiller les taux de dépôt et d'effectuer des ajustements en temps réel. La machine permet également un contrôle précis de la morphologie du film et des niveaux d'impuretés grâce à la pression réglable de la cible de pulvérisation. 3117 a une conception modulaire, qui permet une installation et un fonctionnement rapides. L'outil est également équipé de capacités diagnostiques avancées qui fournissent des données précieuses sur la performance de l'actif de pulvérisation. Une gamme de fonctionnalités d'automatisation ont également été intégrées dans la conception, y compris le chargement automatique de cassettes, la détection de la taille du substrat et le contrôleur de positionnement du substrat. Le CNRC/VARIAN 3117 est entièrement conforme aux normes clés en matière de sécurité telles que NFPA-79 et CSA C22.2 No.14-91. Il est également capable de normaliser et de valider les processus de production grâce à sa fonctionnalité d'autorisation d'exploitation des générateurs. Le CNRC est également capable de fournir des résultats très précis, même lorsque la vitesse de production est accrue. Dans l'ensemble, le modèle CNRC 3117 est un équipement puissant et efficace de pulvérisation par pulvérisation qui offre une vaste gamme de capacités d'optimisation pour le dépôt régulier de couches minces sur divers substrats. Sa conception polyvalente, alliée à ses capacités de diagnostic et d'automatisation avancées, le rend adapté à une variété de besoins de production.
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