Occasion NRC / VARIAN 3117 #9160339 à vendre en France

Le CNRC/VARIAN 3117 est un équipement de pulvérisation à grande surface qui utilise des gaz inertes pour le dépôt de matériaux. Il dispose de deux têtes de pulvérisation magnétron de grande puissance montées sur un étage de précision motorisé à deux axes. Chaque tête est alimentée par une 5kW ou 20kW de génération de courant continu jusqu'à 70mA et 160mA de courant ionique respectivement. Le système est équipé d'une capacité multi-gaz pour contrôler l'atmosphère du processus avec jusqu'à 8 gaz indépendants. Il comprend un contrôleur de processus numérique automatisé avec des recettes de processus pré-programmées pour un fonctionnement facile. Le CNRC 3117 possède une grande chambre principale de 60 cm sur 40 cm équipée d'un mécanisme intégré de verrouillage des charges pour faciliter le chargement des échantillons. Cela permet de monter jusqu'à quatre cibles sur les deux têtes de pulvérisation simultanément. L'unité comporte également un porte-substrat rotatif de 12 "capable de loger différentes tailles et formes de substrats. VARIAN 3117 utilise une machine sophistiquée de distribution de gaz inerte à base de quartz pour assurer une répartition précise et uniforme des gaz de pulvérisation dans toute la chambre. Cet outil collecteur à double commande peut être actionné indépendamment ou peut être utilisé pour mélanger des gaz afin d'obtenir l'atmosphère de procédé désirée. La pression dans la chambre est contrôlée et réglée à l'aide des régulateurs de masse de précision qui sont calibrés pour la précision. 3117 comporte également une fonction de surveillance in situ des actifs appelée « Pulse Counts » qui est un indicateur de la performance globale du modèle. De plus, l'équipement a la capacité de stocker jusqu'à 10 différentes recettes de processus ainsi que des informations diagnostiques détaillées. Le système de pulvérisation thermique CNRC/VARIAN 3117 est conçu pour fournir des rendements maximaux de films minces de grande surface pour une grande variété de procédés. Avec sa grande chambre, un contrôle précis, des systèmes de gaz polyvalents et une puissance de tête de pulvérisation variable, il peut être adapté pour répondre à tous les besoins spécifiques de dépôt. L'unité de pulvérisation électrique du CNRC 3117 est conçue pour assurer un rendement supérieur et des résultats durables pour de nombreuses années de service fiable.