Occasion NRC / VARIAN 3177 #9144755 à vendre en France

Le CNRC/VARIAN 3177 est un équipement physique de dépôt en phase vapeur qui sert à pulvériser des couches minces sur des substrats. Il est composé d'un petit module constitué d'une chambre de pulvérisation comprenant l'alimentation en courant continu pour la génération du procédé de pulvérisation, d'une station de pompage, de la plate-forme mécanique et de l'unité de commande. De plus, le système CNRC 3177 comprend des composants pour la caractérisation des films et d'autres caractéristiques avancées. Le module de dépôt des pulvérisateurs est conçu pour évaporer le matériau d'une cible (typiquement métal ou alliages) sur le substrat à l'aide d'un procédé de décharge en courant continu. L'alimentation en courant continu utilisée ici utilise une décharge brillante pour générer un champ de plasma à partir du matériau cible qui provoque l'éjection des atomes cibles sur le substrat lorsque des ions sont attirés vers le substrat. Le procédé de dépôt est réglé par le matériau utilisé, la pression de la chambre, la puissance appliquée et la distance de travail entre la cible et la surface du substrat. La station de pompage se compose d'une pompe turbomoléculaire et d'une pompe mécanique pour maintenir le niveau de vide nécessaire dans la chambre de pulvérisation. L'unité de contrôle logiciel surveille et modifie le rapport de débit de gaz pour contrôler la pression de la chambre. La plate-forme mécanique abrite le matériau cible, le support de substrat et les paliers latéraux. Les cibles sont typiquement circulaires et jusqu'à 8 po de diamètre, et le support de substrat est réglable pour accueillir différentes tailles de substrats. La plate-forme abrite également un contrôleur de température d'échantillon avancé, permettant à l'utilisateur de contrôler précisément la température du substrat. L'unité de contrôle est constituée d'un ordinateur personnel exécutant l'interface logicielle, qui est chargé de contrôler les différents composants de l'unité. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive, permettant à l'utilisateur de programmer différents paramètres de dépôt en fonction des propriétés souhaitées du film. Il offre également des outils d'administration et d'archivage des données expérimentales. La machine à pulvériser VARIAN 3177 offre un dépôt de couches minces de haute qualité et peut facilement être mise à niveau pour répondre à la forte demande des dispositifs à couches minces d'aujourd'hui. Le procédé de pulvérisation est bien adapté au dépôt d'oxydes, de nitrures, de métaux purs et d'alliages métalliques, ce qui le rend adapté à diverses applications. L'outil est fiable, facile à utiliser et un choix idéal pour un large éventail d'applications.