Occasion OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9208365 à vendre en France

ID: 9208365
Load lock sputtering system.
OERLIKON/BALZERS LLS EVO est un équipement de dépôt de pulvérisateurs très avancé utilisé dans les laboratoires industriels et de recherche pour la fabrication de couches minces. Il offre des performances avancées grâce à un certain nombre de caractéristiques uniques, fournissant un contrôle avancé sur le dépôt de matière sur le substrat. Le système de pulvérisation de base est constitué d'une chambre à vide, avec deux sources distinctes positionnées physiquement à l'intérieur de la chambre et reliées à une alimentation électrique. Les sources peuvent être soit cylindriques, soit planes, avec une variété de matériaux de base. Les alimentations des sources sont assurées par des vannes à l'état solide qui permettent un contrôle précis des intrants. La chambre peut fonctionner soit dans un environnement à ultra-haute dépression, soit dans un environnement réactif à basse pression. Cette caractéristique offre la souplesse nécessaire pour réaliser le matériau désiré sur le substrat. La source RF de BALZERS LLS EVO permet la production de revêtements très homogènes, ce qui réduit la probabilité de zones très défectueuses dans les matériaux. Pour ce faire, on utilise un signal radiofréquence pour créer une fréquence de résonance entre la surface de l'anode et de la cathode. Cette résonance augmente le nombre de particules ionisées dans la chambre, ce qui à son tour augmente l'homogénéité et la vitesse de dépôt. OERLIKON LLS EVO intègre également un obturateur solide breveté. Cette machine est extrêmement rapide et permet un contrôle précis des impulsions. La pulsation permet des populations ioniques plus élevées à la puissance de pointe ainsi que la capacité de démarrer et d'arrêter rapidement les cycles de dépôt. Il en résulte une ionisation accrue des particules, ce qui permet des temps de dépôt plus courts et une meilleure qualité de revêtement. LLS EVO offre également un échange et une manipulation rapides et faciles. Un alignement biaxe exceptionnellement précis est utilisé pour déplacer les plaquettes entre les chambres. Ceci permet un placement précis du substrat pour un dépôt optimal. En combinaison avec ses systèmes de contrôle avancés, OERLIKON/BALZERS LLS EVO fournit un outil extrêmement polyvalent pour la production de couches minces de haute qualité. La chambre est capable de produire une grande variété de matériaux dans diverses conditions d'exposition, avec des taux de défauts faibles. Cet atout est extrêmement efficace et bien adapté aux applications des lignes de production, ainsi qu'à la recherche et au développement dans les technologies de revêtement.
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