Occasion OXFORD Plasmalab 400 #9409150 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 400 est un équipement de pulvérisation ultramoderne utilisé dans la production de dispositifs à semi-conducteurs et à couches minces. Ce système de haute puissance offre aux utilisateurs une large gamme d'options de haute qualité, y compris l'orientation des cibles différentes, la configuration des processus et la préparation sous vide. Plasmalab 400 est équipé d'alimentations de base et haute fréquence uniques qui travaillent ensemble pour assurer la cohérence des processus de pulvérisation. Cette unité peut fonctionner jusqu'à 400 kW, ce qui lui permet d'être utilisée pour divers procédés, y compris la pulvérisation à haute puissance, la pulvérisation RF standard, la pulvérisation à courant continu pulsé ou RF, et le chauffage de substrat gradué. L'alimentation de base fournit une alimentation en courant continu ultra-faible pour le démarrage et l'accord du processus de pulvérisation. Il est également utilisé pour le bombardement ionique et la gravure par pulvérisation ionique. L'alimentation HF dispose d'une plage de contrôle de fréquence de 400 kHz à 60MHz, ce qui signifie qu'elle peut être utilisée pour une variété de procédés avancés, y compris le chauffage de substrat gradué et la pulvérisation RF pulsée. OXFORD Plasmalab 400 a un design de chambre robuste qui peut accueillir quatre cathodes magnétron pour permettre une plus grande densité de puissance et uniformité. La conception innovante de serrure de charge offre une pression barimétrique sous vide automatiquement, avec une pression maximale réglable. Cela permet aux utilisateurs de modifier facilement l'environnement sous vide et les paramètres de la chambre. La machine offre une interface utilisateur intuitive avec des fonctions de contrôle avancées, et peut être exploitée via une plate-forme de contrôle web ou un framework OxR reposant sur le langage de programmation orienté objet Python. Ce logiciel de contrôle permet à l'utilisateur de contrôler pleinement les paramètres du plasma, les fonctions de l'outil et les processus. Enfin, Plasmalab 400 comprend un dispositif de verrouillage de sécurité intégré. Cela fournit des fonctions de surveillance du processus et de protection entre verrous pour assurer une sécurité totale lors de l'exploitation du modèle. Il dispose également d'un équipement actif de surveillance de processus qui surveille les paramètres de processus de la chambre, permettant à l'opérateur d'intervenir en cas d'erreurs ou de défauts.