Occasion PERKIN ELMER 2400-6J #35438 à vendre en France
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ID: 35438
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1970
RF Sputtering system, 6" targets
Bias sputter - RF Sputter mode
Target & Mode selection
Shutter position selector
(3) 6" Diameter assembled cathode stations
6" water cooled substrate stage
Optional gases
Automatic RF Tune Network
RF Power Stabilizer
Time Power Control
Start/Stop System Control
Henrey 1KW RF Generator
Lift & Swing sputtering head hoist
CTI Cryo Torr 8 with 8300 Compressor
Sargent Welch Mechanical Pump
Documentation Package
No DC Bias
Runs on 1 Kw
Missing load lock chamber
As is, where is
1970 vintage.
PERKIN ELMER 2400-6J est un outil polyvalent et de haute précision utilisé pour le dépôt de couches minces. Sa puissance et sa précision en font un choix idéal pour les applications de couches minces telles que les revêtements optiques de couches minces, le MEMS et le microscope électronique à balayage (SEM) et les interconnexions à l'échelle des plaquettes. Ce système de pulvérisation est conçu pour le dépôt de métaux, notamment d'aluminium, de chrome, de tantale et de tungstène, ainsi que d'oxydes et de nitrures de ces métaux. La conception modulaire de 2400-6J permet une polyvalence dans l'optimisation des procédés de dépôt de couches minces pour répondre à des exigences spécifiques. Il comporte une chambre de grande capacité, capable de traiter simultanément jusqu'à 8, 24 ou 48 plaquettes. Cette unité de grande capacité permet également de pulvériser plusieurs couches sur un seul substrat dans un même procédé. La puissance élevée, le magnétron multiple et les sources de pulvérisation planaires inclus avec cette machine fournissent des vitesses de dépôt équilibrées et rapides des couches minces. L'outil dispose d'une interface graphique facile à interpréter, le rendant convivial, avec plusieurs fenêtres qui fournissent des paquets de contrôle de processus complets. Un ensemble de recettes prédéfinies permet une configuration facile et la répétabilité des résultats. L'actif est également capable de surveiller et de contrôler les paramètres de pulvérisation en temps réel, permettant une optimisation rapide des processus. Le modèle a un certain nombre de caractéristiques qui favorisent le fonctionnement efficace du processus de pulvérisation. Il s'agit notamment d'un équipement de gestion du gaz qui permet une gestion efficace des gaz réactifs et non réactifs utilisés pour le dépôt ; un système de gestion du vide permettant un vide plus contrôlé et plus élevé ; et une unité de manutention automatisée des plaquettes, qui permet un chargement et un déchargement des plaquettes faciles et rapides. Afin d'assurer le plus haut degré de reproductibilité et de répétabilité, PERKIN ELMER 2400-6J dispose d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Il s'agit notamment d'un interrupteur de sécurité à température excessive, d'un fonctionnement automatique d'interception et d'un contrôle de la température et de la pression de la chambre. Cette machine dispose également d'un certain nombre de contrôles post-processus, tels que la mesure de l'uniformité d'orientation des cristaux, de la qualité de surface et de la douceur. 2400-6J est une solution idéale pour ceux qui nécessitent un outil de pulvérisation de haute précision capable de fournir des procédés de dépôt de couches minces de haute qualité. Sa conception polyvalente et son outil de contrôle intuitif, ainsi que sa gamme de fonctions de sécurité et de contrôle post-processus, en font le choix idéal pour des applications allant des couches optiques minces au traitement MEMS et plus encore.
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