Occasion PERKIN ELMER 4400 #48874 à vendre en France

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ID: 48874
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1987
Sputtering systems, 6" 4 Target Lock turbo CT8 Cryo Auto gas Auto pressure control Currently de-installed 1987 vintage.
PERKIN ELMER 4400 est un équipement de pulvérisation thermique haut de gamme conçu pour fournir des performances et une fiabilité de pointe. Ce système polyvalent est idéal pour une gamme d'applications incluant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, l'emballage avancé, la fonctionnalisation de substrats de grande surface et la nanotechnologie. 4400 est capable de pulvériser divers métaux, alliages et oxydes sur une variété de substrats. Au cœur de PERKIN ELMER 4400 se trouve une chambre tournante de pulvérisation à 5 cibles composée de deux sources de faisceau d'électrons, de deux magnétrons planaires et d'une pale rotative. Des systèmes de contrôle de cible distincts fournissent le contrôle précis et les résultats hautement reproductibles requis pour la fabrication des appareils. Les systèmes à faisceau d'électrons sont capables de contrôler et de balayer avec précision l'énergie et la puissance, ce qui étend considérablement les capacités de l'unité. Un ensemble masque d'ombre contrôlé par Orion permet le dépôt précis de plusieurs couches en une seule fois, et un microscope électronique FMDS est prévu pour un contrôle dimensionnel précis du substrat. La chambre de process du 4400 comprend différentes tailles de substrat jusqu'à 12 ". La conception mécanique comporte cinq étages de mouvement linéaire à double piston pour assurer un contrôle précis de la position du substrat dans la chambre de pulvérisation. Une pompe à vide haute tension est intégrée à la machine, permettant une évacuation rapide et le maintien d'une basse pression de base de 5,0 x 10-7 Torr. PERKIN ELMER 4400 offre un contrôle précis de la température du substrat via un régulateur de température PID en boucle fermée. A l'aide d'une série de sondes de température et d'un pyromètre, le contrôleur peut maintenir une température de consigne à 0,15 ° C près. Le refroidissement est assuré par un outil de gainage d'eau en boucle fermée entourant le substrat. 4400 fournit également un logiciel polyvalent pour l'automatisation et le contrôle. L'actif est équipé d'une interface graphique graphique 3D (UI) pour surveiller et contrôler le processus de dépôt, fournissant des données en temps réel sur la pression, les flux de gaz, la température, la tension et le courant. Avec sa conception modulaire, le modèle est capable de séquences de dépôt complexes et permet des étapes de processus inter-verrouillables. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour faire de PERKIN ELMER 4400 un excellent choix pour les applications de recherche, de développement et de production. Son contrôle et sa répétabilité supérieurs, combinés à son design robuste, en font le choix optimal pour des tâches de pulvérisation exigeantes.
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