Occasion PERKIN ELMER 4400 #9201790 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9201790
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
Wafer loading: Manual
With load lock
Cathodes: Circle shape, 8″ & 4 max
Sputter methods: RF / DC
Diode / MAGNETRON
Gas lines: 1~3 MFC
Options:
Gas lines with MFC
N2
O2
Customized
Lamp tower alarm with buzzer:
Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock
Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber
Chiller for cooling plates and table
Turbo pump for load lock
Load lock lamp heating function: Up to 200°C
Chamber lamp heating function: Up to 300°C
Plasma etch function
Bias function
Co sputter function
Reactive sputter function
Main frame
28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes:
Configuration 4400 4410 / 4450
Cathode shape Circle Delta
Cathode size 8" Delta
Cathode quantity 1 to 4 1 to 3
Sputter power supply:
4400 4410 / 4450
DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW
Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
Process chamber:
8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6"
CF Flange view port and load lock port
28" Diameter stainless steel base plate
11/2" Air operated roughing isolation valve
Air operated gas inlet valve
Air operated vent valve
11/2" Blanked-off leak check port
Removable deposition shields
23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate
Table with variable speed motorized table drive
Full circle shutter and vane shutter
Chain drive pallet carrier transport
Heavy duty electric hoist
Load lock:
30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber
Aluminum cover
Chain drive pallet carrier transport
2" Air operated roughing isolation valve
Air operated vent valve
23" Diameter molybdenum annular substrate pallet
Elevator for pallet up and down function
Vacuum systems for process chamber:
(2) Stage cryo pumps
With 1000 l/s pumping speed for air
Includes:
Chevron
Water cooled compressor and lines
Automatic regeneration controller
Plumbing kit, 71/2"
Aluminum air operated gate valve: 6" ASA
Air operated venetian blind throttling valve
Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm
Chamber and load lock
Replaced obsolete controls:
Auto pump down controller
Load lock controller
Digital clock timer
Table raise / Lower control
Throttle valve control system
Pressure control system
Sputter head controls
Gas line with MFC
Ar, 200 SCCM, customized
Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4400 est un équipement de pulvérisation ultramoderne qui est devenu un outil polyvalent courant pour le dépôt sous vide en couches minces. Cet outil de pulvérisation est un système multi-sources, permettant de pulvériser n'importe quel matériau métallique ou diélectrique dans sa conception à trois chambres avec son porte-plaquettes de montage sur mesure. 4400 peut atteindre l'épaisseur de dépôt de précision jusqu'à 1 angström et l'uniformité des couches minces jusqu'à 1 nanomètre. Cette mesure de précision est rendue possible grâce à la méthode brevetée de protection des cibles en cuivre qui garantit également la répétabilité des processus ainsi que des temps de production à long cycle. L'utilisation de la technologie magnétron étanche TRIO-MIM ^ TM garantit la non contamination de la chambre lors du dépôt des matériaux en couches minces. La technologie magnétron étanche TRIO-MIM ^ TM chauffe la cible de pulvérisation et ouvre ainsi un potentiel supplémentaire pour faire varier les paramètres du processus. Ceci permet de réaliser des films de haute densité, de haute conductivité ainsi que des matériaux organiques plus complexes qui nécessitent une température de substrat plus élevée lors du dépôt. PERKIN ELMER 4400 est une unité fiable et facile à utiliser. Cet équipement de pulvérisation offre une flexibilité en termes de taille du porte-plaquettes et la capacité d'ajuster les paramètres de pulvérisation avec contrôle logiciel en temps réel pour une plus grande précision de processus. L'étalonnage de la machine est facilement effectué à l'aide de la fonction Auto-Calibration intégrée. C'est aussi un outil assez robuste pour une exploitation certifiée UL dans des environnements de production. Outre ses applications générales de dépôt, le 4400 est souvent utilisé lors de la création de composants avancés de dispositifs. Il met en œuvre le polissage mécanique des substrats pour assurer des surfaces lisses tandis que le processus de pulvérisation crée de fines caractéristiques micro-échelle sur les appareils. PERKIN ELMER 4400 est un atout de pulvérisation fiable et efficace, offrant des pulvérisations partielles et à chambre pleine avec dépôt in situ et recuit en option. Les caractéristiques du modèle permettent la production de films minces de la plus haute qualité tout en contrôlant le coût de production.
Il n'y a pas encore de critiques