Occasion PERKIN ELMER 4400 #9242647 à vendre en France

ID: 9242647
Sputtering system (4) Targets with cryo.
PERKIN ELMER 4400 est un équipement de pulvérisation qui aide à déposer une large gamme de matériaux sur divers substrats tels que les semi-conducteurs, les isolants et les métaux. Ce système permet aux utilisateurs de créer des couches exactes d'épaisseurs spécifiques pour le développement de nanostructures sophistiquées. En outre, il peut également être utilisé pour la réalisation de dispositifs multicouches et multicouches. Cette unité est équipée de deux canons E-Beam pour le chauffage et l'évaporation des substrats. 4400 dispose de capacités de contrôle de processus de haute précision. Il offre une large gamme de procédés tels que la pulvérisation à haute puissance en courant continu pulsé, la pulvérisation réactive et la pulvérisation à faible puissance en courant continu. L'épaisseur du film peut être contrôlée avec précision par les paramètres de contrôle du procédé ainsi que les paramètres de fonctionnement lors du processus de pulvérisation. Il offre également une gamme de recettes standard pour garantir des résultats reproductibles et fiables. La conception de PERKIN ELMER 4400 est composée d'une chambre cylindrique avec des plans plats pour les portes de serrure. La machine offre une capacité de chargement d'une seule plaquette de 3 pouces en diagonale jusqu'à une plaquette de 300mm. A l'intérieur de la chambre de procédé, il y a une source de magnétron et un couplage de puissance de grande valeur pour le revêtement efficace des substrats. L'outil comprend également des rotateurs programmables qui peuvent atteindre une vitesse de rotation allant jusqu'à 4000 tr/min. Ceci permet un dépôt spatial uniforme de couches minces sur de grands substrats. Cette caractéristique permet également d'améliorer l'uniformité et la répétabilité des processus. L'actif 4400 utilise également une spectroscopie d'émission optique pour détecter les impuretés, les inclusions et les non-uniformités dans la couche. Cela permet de mesurer la vitesse de dépôt, l'épaisseur et la composition du film. La température dans la chambre de procédé est contrôlée par des capteurs intégrés et le contrôle de purge de l'azote assure un fond de dépôt propre. Le modèle offre également un contrôle moteur MFC robuste. L'équipement dispose d'une interface graphique facile à utiliser pour contrôler les différents composants tels que le rotateur, la porte, l'entraînement, la source d'alimentation et le système de refroidissement. PERKIN ELMER 4400 est conçu pour être fiable et efficace pour une large gamme d'applications. Il est également conçu avec une construction durable pour assurer des performances durables.
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