Occasion PERKIN ELMER 4400 #9283424 à vendre en France
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ID: 9283424
Sputtering system
PLC Upgrade
(3) RF Diode target assemblies
Etch
Table motor: Encoder for accurate and repeatable positioning
Power supplies
Cryopump
RF Power supply: 1200 W
Chambers:
Upgraded chamber and frames
No alignment
Table:
Upgraded motors
No realign wafer transfer
Ferrofluidic table assembly
Target assembly:
Magnet for higher utilization of targets cathode, 8"
INSTRUTECH Direct feed to PLC
Air manifold: Modular connections
Touchscreen:
Display
Interface: OPTO 22
INTEL Computer.
PERKIN ELMER 4400 est un équipement de pulvérisation utilisé pour le dépôt de couches minces. C'est une station de pulvérisation à usages multiples qui peut être utilisée pour déposer une variété de matériaux, tels que les métaux, les alliages, les céramiques et les polymères. Il est idéal pour fabriquer des revêtements optiques, électriques et semi-conducteurs de haute qualité sur une gamme de substrats. Le système dispose de deux chambres à vide haute indépendantes, ce qui permet un dépôt simultané sur deux substrats différents. L'unité est capable de travailler avec des substrats jusqu'à 8 po de diamètre, et peut créer des films ultra-minces dont l'épaisseur varie de 0,5nm à 2 µm. Les niveaux de vide optimaux peuvent être atteints rapidement et facilement, et les cathodes circulaires tournantes assurent un dépôt uniforme sur les substrats de grande surface. 4400 permet la création de couches minces extrêmement précises et uniformes à l'aide de systèmes de pulvérisation magnétron à courant continu. Les deux alimentations électriques indépendantes, capables de produire jusqu'à 2000 watts de puissance totale, permettent un contrôle précis des taux de dépôt. Des niveaux élevés de contrôle du processus peuvent être obtenus en utilisant le courant électronique secondaire réglable (SEC), ce qui permet d'affiner le processus de pulvérisation. La machine de rétroaction d'affichage intégrée fournit une rétroaction de mesure instantanée sur des paramètres importants tels que le courant d'ions total, le courant SEC, le détecteur de plaquettes, la température du porte-cible et la température du substrat. Le contrôleur intégré assure également un contrôle précis des tensions de polarisation, de l'obturateur et de la fermeture, de l'entrée de gaz, et plus encore. En conclusion, PERKIN ELMER 4400 est un outil de pulvérisation polyvalent avancé utilisé pour créer des films minces de haute qualité pour diverses applications. Ses deux chambres indépendantes, son rétroaction intégrée, son courant SEC réglable et d'autres caractéristiques permettent un contrôle précis des processus et un dépôt uniforme des matériaux sur les substrats de grande surface.
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