Occasion PERKIN ELMER 4410 #9201791 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9201791
Taille de la plaquette: 8"
Sputtering system, 8"
Wafer loading: Manual
With load lock
Cathodes: Delta shape, 3 max
Sputter methods: RF / DC
Diode / MAGNETRON
Gas lines: 1~3 MFC
Options:
Gas lines with MFC
N2
O2
Customized
Lamp tower alarm with buzzer:
Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock
Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber
Chiller for cooling plates and table
Turbo pump for load lock
Load lock lamp heating function: Up to 200°C
Chamber lamp heating function: Up to 300°C
Plasma etch function
Bias function
Co sputter function
Reactive sputter function
Main frame
28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes:
Configuration 4400 4410 / 4450
Cathode shape Circle Delta
Cathode size 8" Delta
Cathode quantity 1 to 4 1 to 3
Sputter power supply:
4400 4410 / 4450
DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW
Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
Process chamber:
8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6"
CF Flange view port and load lock port
28" Diameter stainless steel base plate
11/2" Air operated roughing isolation valve
Air operated gas inlet valve
Air operated vent valve
11/2" Blanked-off leak check port
Removable deposition shields
23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate
Table with variable speed motorized table drive
Full circle shutter and vane shutter
Chain drive pallet carrier transport
Heavy duty electric hoist
Load lock:
30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber
Aluminum cover
Chain drive pallet carrier transport
2" Air operated roughing isolation valve
Air operated vent valve
23" Diameter molybdenum annular substrate pallet
Elevator for pallet up and down function
Vacuum systems for process chamber:
(2) Stage cryo pumps
With 1000 l/s pumping speed for air
Includes:
Chevron
Water cooled compressor and lines
Automatic regeneration controller
Plumbing kit, 71/2"
Aluminum air operated gate valve: 6" ASA
Air operated venetian blind throttling valve
Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm
Chamber and load lock
Replaced obsolete controls:
Auto pump down controller
Load lock controller
Digital clock timer
Table raise / Lower control
Throttle valve control system
Pressure control system
Sputter head controls
Gas line with MFC
Ar, 200 SCCM, customized
Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4410 est un équipement de pulvérisation conçu avec un ensemble de fonctionnalités très polyvalent, ce qui en fait un choix populaire pour les applications électriques, microélectroniques et semi-conductrices. Ce système hautement capable se compose de deux composants primaires ; le pistolet, et un châssis intégré qui abrite les composants de commande et de puissance. Le pistolet pulvérisateur au cœur de 4410 a une alimentation réglable allant de 40 à 350 Watts. Cela permet à l'utilisateur d'adapter le taux de dépôt de l'unité aux besoins de son projet ou de son application en cours. De plus, la conception du pistolet à pulvérisation est très modulaire, ce qui lui permet d'utiliser une variété de cibles de pulvérisation différentes, y compris des modèles évaporés, magnétron et diode. Le châssis intégré de PERKIN ELMER 4410 est celui où résident la commande et tous les composants de puissance. L'unité de contrôle facilite les opérations automatisées ainsi que les options de mode manuel. Cela comprend un plan d'action préprogrammé où des paramètres comme la pression et la température peuvent être spécifiés, ainsi que des opérations manuelles pour affiner le processus de pulvérisation. L'unité de puissance se compose d'un certain nombre de transformateurs et de redresseurs nécessaires pour convertir la puissance alternative entrante jusqu'à la puissance continue requise pour le pistolet à pulvérisation. 4410 est conçu pour être utilisé dans des environnements de type salle blanche et a été conçu en tenant compte de la sécurité. Il contient un bouton d'arrêt d'urgence pour permettre l'arrêt rapide de la machine en cas d'urgence, et son échappement est évité à l'extérieur pour assurer une exposition minimale des matières dangereuses. En résumé, PERKIN ELMER 4410 est un outil de pulvérisation à haute performance polyvalent avec d'excellents composants de contrôle et de puissance, permettant son utilisation dans une variété d'applications industrielles et liées à la recherche. Il est conçu pour une sécurité exceptionnelle et avec le pistolet à pulvérisation modulaire et les contrôles intégrés, les utilisateurs ont la tranquillité d'esprit pour personnaliser leur atout pour les besoins précis du projet actuel.
Il n'y a pas encore de critiques