Occasion PERKIN ELMER 4450 #9113778 à vendre en France
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ID: 9113778
Style Vintage: 2000-2005
Sputtering system
TaN process
Omron PLC Control
(2) Gas
(2) Delta target
(1) AE MDX-5 PS
CT-8 Cryo pump
Pallet, 6"
No etch, LL heat
Currently installed
2000-2005 vintage.
PERKIN ELMER 4450 est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de couches minces d'applications. Ce système comprend une source unique de pulvérisation magnétron et une évaporation par faisceau d'électrons. La source de pulvérisation a un diamètre de 16 pouces et se compose d'une cible en acier inoxydable, d'une armature en graphite et d'une alimentation en aimant. La source d'évaporation comporte trois unités de chauffage équipées chacune d'une alimentation en filament avec des filaments chauffés pour l'évaporation du faisceau d'électrons. L'unité fournit un certain nombre de paramètres contrôlables pour contrôler le processus. La puissance de la source de pulvérisation, la puissance du filament, la distance entre la cible et le substrat, le courant et la polarisation peuvent tous être ajustés. La source d'évaporation est constituée de trois unités de chauffage individuelles, manipulables individuellement et utilisables en série ou en parallèle. La puissance des unités de chauffage et les configurations géométriques peuvent également être ajustées. La machine est conçue avec des dispositifs de sécurité pour éviter la surchauffe. Il est conçu pour accepter la plupart des types classiques de pompes à vide et est équipé de capteurs de température, capteurs de pression, lignes de vide, écran LED, et un tableau de commande. Il peut également être utilisé à distance, en utilisant une connexion Ethernet standard. En plus de l'outil de pulvérisation standard, 4450 est également livré avec plusieurs accessoires en option. Il s'agit d'un enrobeur de pulvérisation, d'un élément chauffant de substrat et d'un actif support de substrat. Le gicleur est conçu pour pulvériser uniformément des matériaux à vitesse uniforme, tandis que l'élément chauffant du substrat est utilisé pour aider à maintenir une température uniforme dans toute la chambre pendant l'évaporation. Le modèle de support de substrat fournit un alignement et une installation précis des substrats, permettant un dépôt précis des couches minces. PERKIN ELMER 4450 est un équipement de pulvérisation rapide et efficace conçu pour le dépôt d'applications en couches minces. Sa polyvalence le rend adapté à toute une gamme d'applications, y compris le dépôt de couches minces diélectriques, organiques et métalliques. Ses nombreuses fonctions de contrôle permettent une manipulation précise du procédé, tandis que la variété des accessoires optionnels offrent une flexibilité supplémentaire.
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