Occasion PERKIN ELMER 4450 #9114028 à vendre en France
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ID: 9114028
Sputtering system
Au, Ni/V process
Omron PLC Control
(2) Gas
(2) Delta target
(2) AE MDX-5 PS
CT-8 Cryo pump
Pallet, 6"
No etch, LL heat
Currently installed
2000-2005 vintage.
PERKIN ELMER 4450 est un système de dépôt sous vide polyvalent et performant qui est idéal pour une large gamme d'applications de couches minces, notamment métalliques, céramiques, semi-conductrices et oxydes. 4450 dispose d'un mandrin électrostatique pour l'uniformité des plaquettes reproductibles, d'un obturateur automatisé pour la protection des substrats et d'une disposition de pile de magnétron multiple propriétaire. Ces caractéristiques permettent un dépôt uniforme de matériaux en couches minces indispensables pour des applications en circuit intégré. PERKIN ELMER 4450 utilise des alimentations à courant continu (courant continu) avec jusqu'à 500 watts de puissance de pulvérisation réglable, et jusqu'à quatre sources indépendantes peuvent être utilisées pour le dépôt simultané. Cela permet à l'opérateur de déposer plusieurs couches minces dans une seule chambre, augmentant ainsi le débit du processus. Les sources de pulvérisation peuvent être exploitées indépendamment pour assurer un contrôle précis de la composition du matériau et de la vitesse de dépôt, avec une grande uniformité sur le substrat. La machine 4450 offre un contrôle supérieur du procédé de pulvérisation et permet l'utilisation d'une large gamme de cibles de pulvérisation, de métaux et d'oxydes. La conception avancée du magnétron permet un excellent contrôle du profil du faisceau sur les grands substrats ; il en résulte une uniformité sur l'ensemble du substrat. L'outil offre un contrôle précis du processus avec température intégrée et rétroaction du capteur, assurant un bon espacement cible-substrat ainsi que des niveaux de puissance de pulvérisation par impulsion cohérents et une utilisation uniforme de la cible. L'interface graphique intuitive basée sur PC garantit la facilité d'utilisation, avec un séquençage de démarrage/arrêt à un bouton et l'affichage en temps réel du courant cible, de la température du substrat, de la vitesse de pulvérisation et de l'épaisseur du film. La charge et le déchargement automatisés du substrat permettent une manipulation efficace et pratique des échantillons et des délais de traitement plus rapides. Dans l'ensemble, PERKIN ELMER 4450 est un excellent choix pour les chercheurs et les entreprises à la recherche d'un modèle automatisé de haute performance pour les procédés de dépôt en couches minces. Avec ses caractéristiques polyvalentes et son contrôle flexible des processus, il peut s'adapter à une grande variété d'applications, du développement de circuits intégrés au revêtement métallique et aux couches de protection. L'interface conviviale de l'équipement et ses performances fiables en font un excellent complément à n'importe quel laboratoire.
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