Occasion PERKIN ELMER 4450 #9251060 à vendre en France
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Vendu
ID: 9251060
Sputtering system
(3) DELTA Targets and etch
Used for thin silicon R&D tri metal (Ti ,Ni, Ag)
Spare parts:
Qty / Part number/ Description
(3) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(7) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(5) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(3) / PES-120-019-000 / O Ring BS214 Viton
(6) / PES-120-121-000 / O Ring BS222 Viton
(2) / PES-120-144-000 / Switch micro (BA-2RV22T)
(4) / PES-121-165-000 / Circlip - External 1/2"
(1) / PES-121-189-200 / Circlip - External 1/4"
(4) / PES-121-381-400 / O Ring BS426 Viton
(10) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(8) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(20) / PES-121-394-500 / O Ring BS116 Viton
(7) / PES-121-395-300 / O Ring BS210
(2) / PES-121-395-800 / O Ring BS234
(7) / PES-121-396-700 / O Ring BS266
(3) / PES-121-396-900 / O Ring BS268
(2) / PES-121-401-400 / Belt timing 100 Xl
(2) / PES-121-411-600 / Bearing
(1) / PES-121-412-500 / Bracket
(1) / PES-121-412-600 / Bracket
(9) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(1) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(2) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(10) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(2) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(9) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(1) / PES-121-425-700 / Circlip internal 2"
(1) / PES-121-430-000 / Circlip internal 2 3/4"
(1) / PES-121-430-800 / FAFNIR KP33B Bearing ball
(1) / PES-121-432-400 / Ring retaining 2 1/8"OD
(1) / PES-121-947-100 / Resistor assy 15K Ohm
(2) / PES-121-964-910 / Bearing (204NPD) W-2Z
(8) / PES-122-026-600 / Fuse-1/8 Amp (1"x1/4")
(2) / PES-122-074-500 / Switch push button
(2) / PES-122-082-500 / Capacitor-WBR+1000-35
(2) / PES-122-142-800 / I.C 74C76
(1) / PES-122-142-900 / I.C 74HCT10
(1) / PES-122-148-500 / DAYCO 150L050 timing belt
(1) / PES-122-154-200 / Motor stepper 120 Volt
(5) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(1) / PES-122-202-400 / I.C 74HCT00
(100) / PES-122-202-500 / CD74HCT04E - IC (Farnell 381-081)
(2) / PES-122-245-600 / POTTER&BROOMFIELD Relay 115V
(5) / PES-122-267-500 / Washer steel 1 1/4OD x 3/4ID x 1/8
(2) / PES-122-268-400 / Capacitor variable 20-500 uF
(1) / PES-122-275-600 / I.C MCA 22312 (4N32 Equiv)
(1) / PES-122-283-790 / Switch toggle Op (C&K 7415)
(2) / PES-132-101-200 / Choke (Ohmite Z-7)
(1) / PES-132-509-300 / Timer (Syracuse DDR-00305)
(1) / PES-133-223-000 / Capacitor 500 mF 25VDC
(2) / PES-133-272-100 / Capacitor 500M 6Kv 25V
(2) / PES-134-021-200 / Rheostat 15K (Ohmite 4202 15000)
(1) / PES-134-354-000 / Resistor assy 3K
(1) / PES-134-402-000 / Resistor assy 33K
(1) / PES-134-403-000 / Resistor assy 100K
(1) / PES-134-407-000 / Resistor assy 5.6K
(1) / PES-134-951-500 / Resistor 22.5K
(2) / PES-135-444-400 / Switch rocker Op (C&K 7201)
(2) / PES-135-445-500 / Strip grounding
(2) / PES-135-921-200 / Head relay brd 24 V AC .K3
(2) / PES-135-921-900 / Relay 120V AC (Sigma78Re1)
(1) / PES-135-922-000 / Relay 28V DC / 120V AC
(1) / PES-135-928-200 / POTTER&BRUFIELD Khu17D11 Relay
(2) / PES-136-300-400 / Ring PTFE 1/4" ID
(2) / PES-136-634-000 / Transistor 2N1559
(2) / PES-139-003-000 / Insulator ceramic
(5) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(3) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(1) / PES-139-008-800 / Insulator ceramic
(1) / PES-178-146-000 / Motor 7RPM 120 Volt
(5) / PES-179-632-000 / Fuse (Buss GMA1O) 3/16 x 3/4
(1) / PES-220-965-000 / Clamp bar
(2) / PES-220-965-100 / Clamp bar
(1) / PES-221-079-300 / Block S/S 1" X 4 1/2" X 1/4"
(2) / PES-221-177-600 / PCB LN2 control
(3) / PES-221-180-200 / Switch rocker Op (Micro4TPL-7)
(1) / PES-221-274-900 / Gasket
(1) / PES-221-279-500 / Assembly feed through
(1) / PES-221-279-900 / Flange transport drive assy.
(1) / PES-221-281-500 / Assembly Feed Through
(2) / PES-221-296-100 / Water feed through
(6) / PES-221-340-900 / Strip grounding
(1) / PES-221-582-900 / PCB Filter board
(1) / PES-2E26 / Beam amplifier
(1) / PES-500-579-500 / Seal assy 1 5/8" OD
(1) / PES-500-585-400 / Bellows 1 1/2" Valve
(2) / PES-500-827-700A / Bellows Assy
(1) / PES-6AG7 / Receiving tube
(3) / PES-721-369-000 / Transformer
(5) /PES-721-384-000 / Washer fibre 1/2"OD X 1/8"ID
(10) / PES-AM33K3 / Bearing - Inner door
(5) / PES-B221-210-000 / Clip heater
(1) / PES-B221-462-700 / Motor Stepper 120 Volt
(1) / PES-D220-948-700 / Valve bellows 2"
(2) / PES-MI-100-KF / Gauge Ion-Mi-100-Kf.
Le PerkinElmer PERKIN ELMER 4450 est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de films métalliques et diélectriques dans des procédés de fabrication de couches minces. Il offre le meilleur des deux mondes ; une source de pulvérisation cathodique à deux canons standard dans l'industrie et une source unique de buse à double largeur pour le dépôt très uniforme de films diélectriques. Le système est capable de déposer des couches de matériaux métalliques ou diélectriques avec une haute définition et une uniformité exceptionnelle sur les plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. Le PerkinElmer 4450 comprend une chambre à vide, une alimentation et un générateur haute fréquence (HF). Il supporte une grande variété de procédés, y compris la pulvérisation continue et pulsée, la pulvérisation par voie ionique réactive (RIMS) et le dépôt de différents matériaux simultanément à partir de sources doubles distinctes. L'unité peut accueillir deux sources - une source de pulvérisation cathodique bimoteur spécifique à l'emplacement et une source de buse double largeur pour les films diélectriques. La tension et la puissance de la source sont réglables, ce qui permet de contrôler la vitesse de dépôt et l'épaisseur du film. L'alimentation avancée du PerkinElmer PERKIN ELMER 4450 offre des réglages de puissance indépendants et programmables pour chaque source, permettant ainsi une optimisation des processus. La machine dispose également d'un porte-échantillons avec un outil de levage pour charger et décharger jusqu'à huit plaquettes - il peut accueillir des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Le mouvement du porte-échantillon est contrôlé par un actionneur, avec une répétabilité de position supérieure à 1 micron. Le support peut être tourné (CW et CCW) et incliné dans la gamme de -10 à + 10 ° à 395 rotations par minute. L'actif dispose également d'un capteur automatique de focalisation et d'un moniteur in situ à quartz pour assurer un contrôle précis de l'épaisseur du film. Enfin, le PerkinElmer 4450 comprend un certain nombre de dispositifs de sécurité tels qu'un arrêt d'urgence et des emboîtements sur la chambre, les sources et le porte-plaquettes. Le modèle est conçu pour le traitement des semi-conducteurs dans un environnement contrôlé. Pour maintenir des niveaux élevés de répétabilité du procédé et réduire la contamination par les particules de pulvérisation et le fond, l'équipement peut être purgé avec des gaz de procédé, de l'azote ou d'autres gaz. En résumé, le PerkinElmer PERKIN ELMER 4450 est un système perfectionné de pulvérisation à haute précision conçu pour assurer un dépôt uniforme en couches minces avec une répétabilité et une précision de procédé élevées. Son moniteur à quartz in situ et son capteur automatique de focalisation assurent un contrôle facile et précis des paramètres critiques des films, tandis que les mesures de sécurité intégrées assurent une optimisation fiable des processus.
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