Occasion PERKIN ELMER / RANDEX 3410-6J #9275483 à vendre en France

PERKIN ELMER / RANDEX 3410-6J
ID: 9275483
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" Sputter coater.
PERKIN ELMER/RANDEX 3410-6J est un équipement de pulvérisation à plusieurs cibles capable d'évaporer plusieurs matériaux en même temps. Il est idéal pour le dépôt de couches minces pour diverses applications, y compris les écrans plats, les revêtements optiques et les emballages. Le système dispose d'une source de pulvérisation magnétron multicouche à vide qui utilise des champs magnétiques pour diriger les ions vers les matériaux du substrat pour créer des films minces. Il utilise quatre sources de dépôt, deux cibles de 6 pouces et deux cibles de 4 pouces. Les cibles de 6 pouces peuvent être utilisées pour les matériaux de substrat jusqu'à 6 pouces de diamètre. Les cibles de 4 pouces peuvent être utilisées pour des substrats plus petits. L'unité dispose également d'une machine de surveillance in situ pour permettre aux utilisateurs de suivre et d'enregistrer leurs processus de dépôt en temps réel. Un contrôleur intégré actionne les pompes rotatives principales à vide et auxiliaires de l'outil ainsi que la commande des sources. Le contrôleur joue également le rôle d'interface pour l'actif de surveillance in situ DC, permettant de prendre des mesures à tout moment du processus. Le modèle comprend un loadlock interne, qui permet de changer l'échantillon sans perte de vide. La serrure interne est également équipée d'un équipement automatisé de manutention des échantillons, ce qui facilite le changement de substrats d'un endroit à l'autre. Le système est capable de pulvériser différents matériaux, y compris les métaux, les alliages, les oxydes et les nitrures. Il comprend une capacité multi-cibles, permettant la création de structures complexes en couches minces. Il comprend également une configuration de source planeuse et une configuration de source double plasma, ce qui permet des densités et épaisseurs de film différentes dans un même travail de dépôt. L'unité est capable de déposer jusqu'à 6 nanomètres par seconde sur de l'aluminium et jusqu'à 1 nanomètre par seconde sur du silicium. Sa pression de base inférieure à 2 × 10-10 Torr permet une très bonne performance sous vide. La machine est également capable de déposer uniformément des films conducteurs et non conducteurs. L'outil est convivial et comprend diverses caractéristiques de sécurité telles qu'un verrouillage mécanique, une détection en chambre ouverte, une détection en chambre fermée et des disjoncteurs électroniques. L'actif est également équipé d'une multitude d'autres caractéristiques, y compris une purge intégrée lors de la libération et de la remise sous pression de la chambre. RANDEX 3410-6J est un choix idéal pour les utilisateurs qui ont besoin d'un modèle de pulvérisation multi-cibles capable de déposer des couches minces précises. Sa technologie sophistiquée et ses caractéristiques de sécurité avancées offrent aux utilisateurs une solution efficace pour leurs besoins de dépôt de couches minces.
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