Occasion PLASMATHERM / UNAXIS Clusterline 300 #9123065 à vendre en France

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ID: 9123065
PVD System, 12" (5) Chamber UBM sputter tool (1) SE Chamber arctic (1) Degas (1) PVE Arctic (3) PVD Clampless Dual server / Arctic soft etch 2006 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Clusterline 300 est un équipement de pulvérisation rapide et fiable. Il s'agit d'un système complet de dépôt de matériaux métalliques, isolants et semi-conducteurs en couches minces par pulvérisation magnétron. L'unité est conçue pour traiter quatre substrats de 8 «, ou deux substrats de 12 » à la fois. Sa conception compacte lui permet d'offrir d'excellentes performances et un bon rapport coût-efficacité. La machine dispose d'un processus de dépôt automatisé des matériaux et d'une surveillance intelligente avec un outil de contrôle numérique PLC. Il utilise un mouvement optimisé basé sur le substrat et un contrôle avancé des paramètres du processus. En outre, l'actif est équipé de sources à double magnétron pour assurer un dépôt uniforme des matériaux. Le modèle comprend également des sources d'assistance tournantes et des sources hybrides (plasma) pour une meilleure couverture par étapes. La Clusterline 300 de l'UNAXIS est également équipée d'une large gamme de matériaux de source et de substrat intégrés. Cela comprend les métaux, les isolants, les revêtements optiques et les polymères PECVD. L'équipement dispose également d'un système de régulation de température avancé, avec un moniteur de température avancé qui garantit une température précise et stable dans l'ensemble de l'unité. PLASMATHERM Clusterline 300 dispose également d'une machine innovante de nettoyage de substrat avancé, qui assure le dépôt de couches minces de la plus haute qualité. Cet outil permet également de réduire l'alimentation, la contamination et l'ombrage, tout en assurant une épaisseur uniforme sur les quatre substrats. De plus, l'actif dispose d'un réflectomètre externe quasi total (QTTR) avancé pour la surveillance en temps réel des couches minces. Clusterline 300 est un modèle flexible et performant qui offre la plus grande productivité pour le dépôt en couches minces. Il est fiable, rentable, et a une longue durée de vie de la machine.
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