Occasion SHOWA SHINKU SPH-2019F #9078362 à vendre en France

SHOWA SHINKU SPH-2019F est un équipement de pulvérisation conçu pour les applications de dépôt en couches minces. Il s'agit d'une solution économique offrant un dépôt de haute qualité de films métalliques ou semi-conducteurs sur de grands substrats tels que des cellules solaires ou des écrans LCD. Le système de pulvérisation est équipé d'une source de pulvérisation haute performance, à courant continu/magnétron, capable de pulvériser un large éventail de matériaux, notamment des métaux, des alliages, des diélectriques et des oxydes. La source dispose d'une puissance de sortie réglable allant jusqu'à 500 W avec trois types différents d'alimentation de stabilisation de puissance RF pour une qualité supérieure de dépôt de film. L'unité contient également une chambre à vide haute équipée d'un étage de translation linéaire sans alternance capable de déplacer le substrat jusqu'à 200 mm de diamètre. Toute la machine est capable d'atteindre une pression de fonctionnement inférieure à 6 × 10-3 Pa et un niveau de vide de 6 × 10-6 Torr. Afin de faciliter le contrôle des processus, l'outil comprend un contrôleur de processus qui permet de définir et de surveiller jusqu'à 350 paramètres de processus. Ce contrôleur dispose d'un actif d'exploitation Windows 7, d'une interface utilisateur graphique intuitive, d'un codeur optique intégré et d'un moniteur en temps réel pour la vitesse de dépôt. En outre, le modèle est également équipé d'un régulateur de température programmable pour un contrôle précis de la température, tandis que l'équipement peut également être modifié pour inclure des modules et des capteurs supplémentaires selon les besoins du client. SPH-2019F offre également une excellente uniformité de dépôt de film, avec une taille moyenne de ± 0,2 μ m et une vitesse de dépôt allant jusqu'à 150 nm/minute. Le système offre également une excellente couverture d'étape de 90-95 % et des films d'une épaisseur allant jusqu'à 200 nm sont réalisables avec une excellente qualité. Dans l'ensemble, SHOWA SHINKU SPH-2019F offre une solution rentable et de haute qualité pour le dépôt de couches minces. Avec sa conception polyvalente, ses capacités de contrôle précises et sa source de pulvérisation haute performance, c'est un choix idéal pour une grande variété d'applications.