Occasion SIGMA Sputtering System #193698 à vendre en France
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ID: 193698
Roll to roll sputtering system
8 Ball Vacuum Chamber & Chassis
(2) CTI Model 1020CP Cold Head Cryo Pump
(2) CTI Model 1020R Compressors
Leybold RuVac WS500 Roots Blower
Sliding Door Face Plate
Sputtering system:
RF Matching Networks
Mass Flow Controllers
Web system:
(4) Black Max Motors & Gearboxes (Unwind, rewind, drum and tension drive)
Chilled Drum
Drum Motor Stand
Control system:
Human Machine Interface (HMI) - An operator touch-screen for manual and automated operations
HMI - A Eurotherm Drives touchscreen for web control
Eurotherm Control Cabinet & Network
General Control Panel
Utilities and accessories:
Chiller
Air Compressor
Cathode Cooling Water Manifold
Flexible Electric Trunking
Valving:
Roughing
Vent and interlocks
Cryo gate
Cryo throttle
Regeneration
Purge
Gauges:
Convection gauges (low mtorr range)
Baratron gauges
Ion gauges
Hydrogen vapor pressure gauges
Tension drive, load cells and amplifiers
Drum rotation motor and gearbox
Rewind and unwind motors
Gas system and control
PLC card
Signal connections
Auto pumping
Rewind and unwind control
Plasma treater
Sputtering controls: manual, regulate and direct mode
RF control, DC control
Maintenance mode
Missing parts:
Leybold DK200 rough pump (rotary piston pump)
DK200 Gearbox
(2) Cryo Throttle Valves (Butterfly Valves)
(1) Cryo-pump gate valve
(2) Hydrogen Vapor Pressure Gauges
Ion Gauge
Baratron Gauge
(4) Convectron Gauges
(6) Pneumatic Valves (regeneration valves for cryo pumps; purge valves for cryo pumps, rough pump Vent valves)
Chamber Connecting Flange for Drum Feed-through
Tension Roller Feed-through
Unwind/Rewind Feed-through
(6) DC Cathodes (40” x 6”)
(6) MDX 5 KW sputtering power supplies
Gas Control System
Gas Lines
(3) Load cells
(3) Load Cell Amplifiers
(1) Unwind/Rewind Shafts
Steel Pressure Plate for Floor
Gantry System and Crane (parts missing)
Door Drive Train
Side Steps to gain access to Cathodes
Steel Ladder
Mezzanine
480 V, 3 phase, approx. 1,000 A.
SIGMA Sputtering Equipment est un système de pulvérisation ultramoderne conçu pour déposer des couches minces sur un substrat. Il est utilisé dans une variété d'applications, telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, les revêtements optiques, la recherche et le développement, la médecine, et beaucoup d'autres industries. L'unité se compose d'une petite chambre, qui est remplie de gaz argon, et d'une alimentation avec un réglage de tension variable. Un matériau cible, tel que l'aluminium ou le titane, est placé sur la plaque cathodique à l'intérieur de la chambre et il est chargé positivement pour générer un plasma. Le plasma génère un flux plasmatique ionisé de particules, qui bombardent le matériau cible, libérant des ions chargés positivement. Ces ions sont alors attirés vers la surface du substrat chargé négativement et des atomes métalliques sont déposés sur le substrat en couche mince. SIGMA Sputtering Machine est contrôlé par une suite logicielle sophistiquée qui permet aux utilisateurs de définir un large éventail de paramètres pour obtenir des résultats optimaux. Les utilisateurs peuvent ajuster divers paramètres pour optimiser l'outil, tels que la vitesse de dépôt, la concentration d'ions et l'uniformité des dépôts dans le temps. Le logiciel permet également aux utilisateurs de surveiller et de contrôler le taux de dépôt, ce qui leur permet de s'arrêter et de démarrer au besoin sans interférer avec le processus de dépôt final. Sputtering Asset dispose également d'un modèle de sputter à assistance sèche qui aide à empêcher les particules indésirables de se fixer au substrat. L'équipement est équipé d'une gravure sèche post-processus pour purifier davantage la couche de dépôt en éliminant les particules ou contaminants qui peuvent se trouver à la surface du substrat. En outre, SIGMA Sputtering System offre un large éventail d'accessoires, tels que des alimentateurs d'échantillons, des manutentionneurs de plaquettes, des cassettes et des accessoires, entre autres caractéristiques qui rendent l'unité plus polyvalente. Dans l'ensemble, Sputtering Machine est une solution avancée et fiable pour les applications de dépôt de métaux. Il est hautement personnalisable et offre aux utilisateurs une variété de paramètres à choisir pour atteindre les résultats souhaités. En outre, ses caractéristiques d'assistance à sec et de gravure post-processus assurent une couche de dépôt égale et pure.
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