Occasion SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VS-18C #9120860 à vendre en France
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ID: 9120860
Taille de la plaquette: 2"
Sputtering system, 2"
Process gases: Ar
Inlet pressure: 10 psig
Flow rate: 100sccm
Compressed air:
Inlet pressure: 70-120 psig,
Flow rate: minimal amounts, intermittent
Gaseous nitrogen
Inlet pressure: 10 psig
Flow rate: 10cfm
Cooling water:
Inlet pressure: 40 psi (minimum differential)
Fitting: 3/4”NPT Female
Flow rate: 6 GPM
Temp: 25°C (Max 40°C)
Resistively: 2500 ohms/cm or higher at 25 deg C
Solid content: <250ppm
pH value: between 7 and 9
Total chlorine: <20ppm
Total nitrate: <10ppm
Total sulfate: <100ppm
Total hardness expressed as calcium Carbonate equivalent: <250ppm
Total dissolved solids: ≤ 640,000 / Specific resistivity (ohms/cm)
Exhaust:
Roughing pump
Pressure: <ATM pressure
Fitting: ISO-63 for Leybold dry pump
Flow rate: 150cfm for Leybold dry pump
380 V, 3 phase, 50 Hz, > 30 amp, 5 wires including neutral and low “Z” ground.
TECHNOLOGIE DE CONTRÔLE DE L'ÉQUIPEMENT/SCT VS-18C est un système de pulvérisation cathodique à haute puissance conçu pour une variété d'applications de vide et de dépôt physique en phase vapeur. Cette unité de pulvérisation utilise une source de magnétron à courant continu (DC) pour produire des matériaux de revêtement vaporisés qui adhèrent au matériau du substrat. La machine comprend une chambre de dépôt compacte et étanche constituée de la cathode, de l'anode et du commutateur de polarité. Il comprend en outre une unité de contrôle, un orifice de chambre haute pression et un support de substrat chauffé de 25 mm capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 degrés Celsius. SCT VS-18C est livré avec une unité de contrôle optionnelle qui fournit le contrôle complet de l'outil, la surveillance et le stockage de jusqu'à 16 recettes individuelles. Cet actif est évalué pour une plage de vide de 100 mTorr à environ 10 Torr, avec une pression de vide ultime de 0,5 Torr. En fonction de la puissance continue, le taux de dépôt peut être ajusté entre 0,01 et 10 nm/s, idéal pour créer des couches minces à surface et microstructures uniformes. D'autres paramètres réglables vont de la source à la distance du substrat, du matériau cible, de la chaleur du support du substrat et de la vitesse de rotation, pour n'en citer que quelques-uns. Model CONTROL TECHNOLOGY VS-18C offre un choix de cinq cibles différentes avec des tailles allant de 2 « à 10 » permettant aux utilisateurs de choisir la cible optimale pour leurs applications. En outre, cet équipement de pulvérisation est livré avec un orifice optionnel de chambre haute pression qui permet le dépôt de matériaux à des niveaux allant jusqu'à 2bar. Le support de substrat et de levage sont livrés avec une gamme complète de capteurs et de commandes automatisées pour assurer le fonctionnement sûr du système. VS-18C unité est conçue pour être utilisée dans diverses applications de recherche et de développement, y compris les dépôts d'alliages métalliques, les résistances à couches minces, l'imagerie aux rayons X et d'autres dispositifs nanométriques. Elle s'applique également largement dans les secteurs aérospatial et industriel qui nécessitent des dépôts complexes ou des scellements à haute intégrité. Machine CONTROL TECHNOLOGY/SCT VS-18C est robuste, polyvalent et capable d'un fonctionnement continu à ciel ouvert pour supporter une large gamme de matériaux à couches minces haute performance. Avec ses capacités avancées, SCT VS-18C est une excellente solution pour ceux qui recherchent la précision et un taux de dépôt élevé.
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