Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Nimbus 314 #9206551 à vendre en France
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Vendu
ID: 9206551
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Sputtering system, 12"
Includes:
(3) Magnetrons
RF Substrate bia
ICP Etch
Options
With main system:
(18) Electrostatic chucks for wafer
(6) Trays
Load lock degas
SECS / GEM Interface
Magnetron: G1-HP W/Ti 2007
Nimbus 314HP 300MM robot upgrade to include:
EFEM: 12"
(6) ESC Trays: 12"
(2) Ground plane etch shields: 12"
(2) Cassette adapters
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314 (un équipement de pulvérisation) de TEL (NEXX) est un système de pulvérisation personnalisable et hautement configurable conçu dans le but de créer des films de qualité supérieure à un faible coût. TEL Nimbus 314 utilise une conception à trois plateaux composée de trois cibles indépendantes, permettant aux utilisateurs de pulvériser simultanément des cellules ou des métaux à plusieurs unités. Le film pulvérisé peut également être accordé avec précision pour des propriétés telles que la résistance électrique, la cristallinité et les caractéristiques de mouillage, permettant aux utilisateurs de créer des films uniques et précis qui répondent à leurs exigences exactes. NEXX Nimbus 314 utilise une source unique de plasma confiné magnétiquement, qui génère une concentration d'ions plus élevée dans la chambre cible que d'autres systèmes de pulvérisation. Il en résulte des taux de dépôt plus élevés et une plus grande homogénéité du film pulvérisé, ce qui réduit les risques de contamination et le rend idéal pour des applications à haut volume. La source de plasma magnétiquement confinée permet également à Nimbus 314 de manipuler une large gamme de matériaux cibles, des métaux nobles aux alliages et aux matériaux semi-conducteurs. TOKYO ELECTRON Nimbus 314 est conçu pour maximiser l'efficacité et la flexibilité. Il dispose d'une unité d'alimentation réglable qui peut être configurée pour fournir une variété de tensions et de substrats pour s'assurer que le matériau cible est pulvérisé efficacement et de façon cohérente. Il dispose également d'un fusil ionique invariant d'angle qui peut être utilisé pour le réglage précis de l'angle, ainsi que d'un angle incident réglable pour augmenter la zone de pulvérisation disponible et la précision de centrage. TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314 dispose également d'une interface utilisateur intuitive et facile à utiliser, ce qui en fait un choix idéal pour les professionnels expérimentés et les nouveaux utilisateurs. Il est également livré avec un ensemble d'outils pour surveiller la croissance des films, ainsi que des processus automatisés pour ajuster divers paramètres pour une efficacité et une répétabilité maximales. En outre, la machine a intégré des caractéristiques de sécurité conçues pour protéger l'utilisateur contre l'exposition accidentelle à un matériau pulvérisé. En résumé, TEL Nimbus 314 de TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX) est un outil de pulvérisation hautement configurable et efficace conçu pour une performance optimale et une qualité de film supérieure. Il offre un haut degré de flexibilité, permettant aux utilisateurs de personnaliser leurs films pour répondre à leurs exigences exactes. Cet actif tire parti d'une puissante source de plasma confinée magnétiquement pour produire des ions à plus forte concentration et à couverture plus uniforme, ce qui se traduit par des taux de dépôt plus constants et une croissance des films de meilleure qualité. En outre, il est livré avec une interface utilisateur complète et divers processus automatisés pour améliorer l'efficacité et la sécurité.
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