Occasion TEL / TOKYO ELECTRON PDU-MKIV #9226264 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON PDU-MKIV est un appareil polyvalent conçu pour le dépôt de couches minces sur divers substrats. Ce système de pulvérisation est doté d'une technologie de pulvérisation par pulvérisation à plaques parallèles (PPM) qui utilise deux aimants statiques pour générer un plasma ionisé. Ce plasma est ensuite utilisé pour fournir une source de matériau uniforme et directionnelle pour le procédé de dépôt. TEL PDU-MKIV dispose d'un support de substrat sans masse, d'une commande de puissance RF (Radio Frequency) intégrée, ainsi que d'une unité d'injection multi-gaz. Cette machine peut accueillir jusqu'à trois sources de pulvérisation, une source étant dédiée à une source de pulvérisation rotative. Sa technologie de pointe et sa construction robuste garantissent des résultats propres et cohérents, avec une précision répétable. TOKYO ELECTRON PDU-MKIV dispose de quatre chambres de procédés distinctes pour assurer un environnement de travail propre. La première chambre abrite un plateau tournant pouvant supporter jusqu'à 300 mm de diamètre de substrats, utilisant un mécanisme de levage de plaquettes pour le chargement et le déchargement du substrat. La deuxième chambre abrite un outil d'anticontamination avec contrôle de pression qui est utilisé pour réduire ou éliminer la contamination par des particules ou d'autres gaz non surveillés. La troisième chambre abrite la source de pulvérisation, où le matériau requis est évaporé dans une chambre à vide. Les utilisateurs peuvent contrôler la vitesse et l'énergie du procédé de pulvérisation pour obtenir l'épaisseur et la composition souhaitées du film. La chambre finale abrite l'outil de dépôt, où l'alliage d'aluminium, le molybdène, le tungstène et d'autres métaux sont chauffés et fondus jusqu'à former un film uniforme sur la surface du substrat. PDU-MKIV est équipé d'outils de diagnostic avancés et de logiciels d'analyse de données pour faciliter une enquête rapide et solide sur la spécification des actifs et le processus de pulvérisation. Le modèle est également équipé d'une variété de fonctions de sécurité conviviales, telles qu'une alarme de rupture de vide et un verrouillage de sécurité. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON PDU-MKIV est un équipement de pulvérisation versatile capable de déposer avec précision des couches minces sur divers substrats avec une précision répétable. Il est équipé d'outils de diagnostic avancés et de logiciels d'analyse de données pour s'assurer que les utilisateurs peuvent rapidement étudier et dépanner le système si nécessaire.