Occasion TORR CRC-150 #73201 à vendre en France
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ID: 73201
Table top sputtering system with etch option
8" diameter X 8" tall chamber, stainless steel
Leybold turbo pump
Dual stage Leybold mechanical vacuum pump
Conflat 4" diamater view port.
L'équipement de pulvérisation TORR CRC-150 est un enrobeur à haute performance spécialement conçu pour la recherche et les applications industrielles. Il offre une performance de dépôt fiable et robuste qui convient à de nombreuses exigences d'application du procédé. Cet enrobeur polyvalent peut être utilisé pour déposer une grande variété de matériaux sur une large gamme de tailles et de formes de substrat. CRC-150 peut manipuler une variété de métaux, d'oxydes, de nitrures et d'alliages dans un large éventail de configurations de processus. TORR CRC-150 est conçu pour une compatibilité rapide et fiable des plaquettes. Il offre un chargement facile des plaquettes avec un système de récupération robotique des plaquettes. L'unité est capable de traiter plusieurs plaquettes avec une seule opération de passage et de fournir des résultats cohérents. Il dispose également de plusieurs modes de dépôt, y compris le dépôt uniforme standard de couches, le dépôt par étapes et les procédés de gravure tronconique profonde. CRC-150 machine à pulvériser est équipée d'une source de plasma à distance (RPS) de haute puissance et de procédés de pulvérisation avancés. Cet outil est capable de réaliser des couches de revêtement de haute qualité avec une homogénéité supérieure et une épaisseur de film sur toute la surface de la plaquette. Cet atout offre un large éventail de paramètres pour contrôler la pression des chambres de procédés, le débit de gaz, les polarisations en courant continu et en impulsions courtes, et les vitesses cibles des pulvérisateurs. Le design robuste et la construction robuste de TORR CRC-150 lui permettent de produire des films métalliques et céramiques avec d'excellentes propriétés d'adhérence. Ce modèle est doté d'un système de contrôle automatisé des processus (APC) qui permet de produire une uniformité et une reproductibilité étroites du taux de dépôt, de l'épaisseur et d'autres paramètres de dépôt. L'équipement APC est capable de modifier automatiquement les paramètres cibles pendant la production pour tenir compte des conditions changeantes. CRC-150 est également équipé d'un moniteur en temps réel qui surveille les performances du système pendant le traitement et fournit une rétroaction pour ajuster les paramètres de traitement en conséquence. Cette unité offre également une interface de contrôle d'écran tactile qui peut être utilisée pour configurer et visualiser les paramètres du processus de pulvérisation. TORR CRC-150 est conçu pour le dépôt précis de couches minces pour un large éventail d'applications. Il est idéal pour la production de couches minces de haute qualité, stables et homogènes. Cette machine rentable et efficace offre un dépôt précis et un contrôle des processus avec une variabilité minimale de fonctionnement.
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