Occasion TRIKON / ELECTROTECH Delta 201 #293621505 à vendre en France

TRIKON/ELECTROTECH Delta 201 est un équipement de pulvérisation haute performance développé pour le dépôt de couches minces sur différents substrats. Ce système est une unité de pulvérisation à simple source, multi-chambres, à cadre ouvert qui permet une large gamme de paramètres de processus et est idéal pour des applications exigeantes dans les environnements de recherche et industriels. TRIKON Delta 201 propose cinq chambres pour le revêtement des pulvérisateurs, dont une chambre de chargement/déchargement, une grande chambre principale et une petite chambre. Les chambres sont isolées électroniquement et pneumatiquement l'une de l'autre et présentent une gamme de vide de 0,5 à 1,0 mTorr. La machine fournit une grande homogénéité de dépôt. Des ancres de cryo et de chauffage réglables permettent de contrôler avec précision la température du substrat. ELECTROTECH Delta 201 peut accueillir une variété de substrats, y compris des métaux, des céramiques, des verres et des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre et jusqu'à 4 pouces d'épaisseur. L'outil dispose d'un plateau plat et sec avec un choix d'options de chargement manuel linéaire, rotatif ou de laboratoire. La hauteur réglable de la zone terminale et la plage flexible de la zone y permettent d'affiner les paramètres du processus pour une variété de substrats. Delta 201 est équipée avec le Contrôleur de Déposition « TDC-200 » fait breveter de TRIKON, qui a une interface intuitive et une navigation facile à utiliser. Ce contrôleur fournit un accès facile à tous les paramètres de processus et les recettes, tout en permettant le contrôle des 5 chambres de pulvérisation simultanément. Le contrôleur dispose d'un étouffement RF et d'une grande variété de fonctions de suivi de processus. Les capacités de pulvérisation de TRIKON/ELECTROTECH Delta 201 sont secondes à nulles. Il dispose d'une douche à gaz inerte « Icarus » brevetée ELECTROTECH, qui augmente l'efficacité de pulvérisation et fournit une large gamme de procédés de pulvérisation. La configuration de la cible Lift- off™ offre une pulvérisation uniforme, une excellente utilisation du matériau et un profil d'épaisseur de film hautement contrôlable. Dans l'ensemble, l'actif de pulvérisation TRIKON Delta 201 est un modèle de dépôt avancé et polyvalent. Il fournit aux utilisateurs un contrôle de haute précision des paramètres de processus, avec une excellente uniformité et répétabilité. L'équipement est capable de réaliser un large éventail de procédés de pulvérisation avec une excellente utilisation des matériaux et des profils d'épaisseur de film contrôlables, ce qui le rend adapté à une variété d'applications.