Occasion TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #178693 à vendre en France

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TRIKON / ELECTROTECH MS 6210
Vendu
ID: 178693
Sputtering System.
TRIKON/ELECTROTECH MS 6210 est un équipement de pulvérisation hautement complexe conçu pour déposer des couches minces de divers matériaux sur divers substrats. Le système se compose d'une chambre à vide ultra haute, d'un contrôleur et d'une alimentation électrique. La chambre est conçue pour maintenir un vide jusqu'à 1,33 x 10-6 Pa avec une vitesse de pompe turbo de 3,2 litres par seconde. Le contrôleur est connecté à l'alimentation, permettant un contrôle précis du processus de pulvérisation. La chambre de l'unité est de forme cylindrique et est équipée d'un flasque de chambre monté haut et d'un orifice de drain monté haut. La bride de chambre est conçue avec trois ports de bras et de cône pour permettre un chargement et un déchargement aisés des substrats. Il existe également deux ports de gaz azoté montés bas et deux entrées de gaz montées haut, assurant un contrôle précis du flux de gaz actif dans la machine. La chambre est chauffée par quatre chauffages thermoélectriques, permettant une couverture uniforme de la surface chauffée du substrat. L'outil de vide se compose de deux pompes turbomoléculaires, d'une jauge de vide et d'une jauge ionique pour un contrôle précis des paramètres de vide de la chambre. L'actif est également équipé d'un obturateur anti-contamination et d'une vanne à rugosité pour minimiser la contamination des films pulvérisés. L'alimentation du modèle est capable de fournir une alimentation stable et uniforme à la source de pulvérisation, quelles que soient les variations de tension et de courant. Il existe trois canaux de commande avec contrôle indépendant de la tension et du courant, permettant un réglage précis de l'alimentation et du débit de pulvérisation. Le contrôleur est connecté à l'alimentation et permet un contrôle précis des paramètres de la procédure de pulvérisation tels que le rapport cyclique, le taux de pulvérisation et le matériau cible. TRIKON MS 6210 est capable de produire des films avec une très grande homogénéité et douceur de surface. Les films peuvent également être déposés sur différents substrats, tels que le verre, l'acier inoxydable et le silicium, avec une excellente adhérence et d'excellentes propriétés optiques. Le système est facile à utiliser et assure un contrôle précis du processus de pulvérisation.
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