Occasion TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9123644
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
PECVD System, 6"
Process: SiN-SiC (Sio2)
Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4
Manuals included
Missing parts:
RF Generator
Chuck
Vacuum sensor
1995 vintage.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210 est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour le dépôt multicouche détaillé. Ce système est bien adapté à diverses applications, telles que l'optoélectronique, la microélectronique hybride, les cellules solaires, les diélectriques de grille, les revêtements de protection et de nombreux autres procédés physiques de dépôt en phase vapeur. TRIKON ND-6210 dispose d'une unité d'alimentation avancée en courant continu avec une puissance maximale de 25 kV et une puissance de pointe de 500 W. Cela le rend adapté à une grande variété d'applications, car des tensions élevées permettent de contrôler pleinement la profondeur et l'uniformité des couches déposées. ELECTROTECH ND-6210 comprend également une machine de commande indépendante à trois termes, qui permet de contrôler le courant cible, la tension et/ou la puissance. ND-6210 a une structure mécanique robuste pour assurer la stabilité à long terme pendant les processus de dépôt. Cette structure comprend une chambre à vide fiable et des étages de mouvement de haute précision. La chambre à vide est un outil entièrement intégré de boîte de distribution, avec une pompe de diffusion de grande capacité et une pompe mécanique à deux étages. Cela permet une pression de base allant jusqu'à 5 x 10-9 Torr. Les étages de mouvement ont une résolution d'analyse inférieure de 0,1 micron et sont actionnés par un moteur d'asservissement. Ceci permet un positionnement précis du substrat et de la cible. TRIKON/ELECTROTECH ND-6210 dispose également d'une cible de pulvérisation intégrée de 10 cm de diamètre. La cible est fabriquée à partir de matériaux de haute pureté tels que la céramique et le graphite qui sont idéales pour le dépôt direct. De plus, la cible de pulvérisation peut supporter des matériaux non métalliques tels que des oxydes, des nitrures et des silicures. L'alimentation RF assure une alimentation précise et des capacités de contrôle qui permettent une épaisseur de couche uniforme. TRIKON ND-6210 est également conçu pour être convivial avec son interface utilisateur intuitive. L'atout comprend un écran tactile, un indicateur de rétroaction numérique et des recettes de processus programmables. L'utilisateur peut également facilement contrôler les paramètres du processus tels que la pression, le temps de traitement, le débit de gaz et le courant. Cela permet aux utilisateurs d'ajuster facilement le processus de pulvérisation et de surveiller les dépôts en temps réel. Dans l'ensemble, ELECTROTECH ND-6210 est un modèle robuste et performant idéal pour le dépôt multicouche dans diverses industries. Avec son équipement d'alimentation avancé, son système de contrôle indépendant à trois terme, sa structure mécanique robuste, sa cible de pulvérisation et son interface conviviale, ND-6210 est le choix idéal pour toute application de dépôt de précision.
Il n'y a pas encore de critiques