Occasion TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655332 à vendre en France

ID: 293655332
Sputtering system No pumps.
TRIKON/ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 est un équipement de pulvérisation électrique polyvalent conçu pour le dépôt précis de couches minces. Le système est équipé d'un écran double cible rotatif facilement réglable pour fournir une excellente uniformité et une homogénéité de film mince. Le MS4200 dispose également d'une alimentation très efficace et variable pour un contrôle précis de la puissance délivrée aux cibles de pulvérisation. L'alimentation variable permet de régler le flux cible et la tension de gaine. Il a également une conception de cible monocristalline planaire pour augmenter les taux de pulvérisation. Le MS4200 dispose également d'un chauffage à substrat uniforme avec une plage de température allant de 150 oC à 450 oC pour un conditionnement soutenu et une déshydratation du film. Cette caractéristique assure un dépôt uniforme sur une large gamme de tailles et d'épaisseurs de substrat. Le chauffage assure également une homogénéité et une stabilité à haute température sur une large plage de diamètre de plaquettes. Le MS4200 dispose également d'une unité complète de gestion du gaz avec un débit de gaz réglable, la pression et la portée. Il dispose également d'un générateur RF et d'un contrôle de processus optionnel pour une flexibilité supplémentaire. Le générateur permet de régler la largeur des impulsions RF afin d'assurer une uniformité et une adhérence optimales du film. Enfin, le MS4200 est alimenté par une machine à vide pour maintenir l'homogénéité des procédés et l'étanchéité hermétique de la chambre. Dans l'ensemble, TRIKON PLASMAFAB MS4200 est idéal pour le dépôt de couches minces avec une densité, une homogénéité et une homogénéité supérieures. Les caractéristiques multifonctionnelles de l'outil offrent aux utilisateurs la souplesse et les performances nécessaires pour atteindre leurs objectifs de dépôt en couches minces.
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