Occasion ULVAC Ceraus Z-1000 #9053697 à vendre en France
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ULVAC Ceraus Z-1000 est un équipement de pulvérisation conçu pour les procédés de dépôt en couches minces. Habituellement utilisé dans des environnements de recherche et de production, le système utilise la technologie de pulvérisation magnétron pour déposer des couches minces de métal ou d'autres matériaux sur des substrats. Cette technologie est idéale pour créer des couches minces d'aluminium, de molybdène, de tantale, de titane, de chrome, de cobalt, de platine, d'iridium et de tungstène, avec des épaisseurs de revêtement allant de 10nm à 1000nm. L'unité Ceraus Z-1000 est équipée d'une chambre de pulvérisation qui offre un espace de travail généreux et une machine scellable à cloche qui assure un haut niveau de contrôle de la contamination. Il utilise une conception en chambre ouverte pour le chargement facile du substrat et un outil de refroidissement à boucle fermée qui assure la stabilité de la température du processus. Il est également équipé d'un actif de contrôle interne du gaz rigoureusement conçu pour contrôler et réguler la pression de manière fiable. Le modèle utilise deux cathodes installées dans la chambre de pulvérisation, chacune avec un certain nombre de bobines de magnétron. Les cathodes sont reliées à des sources d'énergie RF et DC qui permettent un contrôle indépendant des ions positifs et négatifs dans la chambre. Ceci permet le dépôt sélectif de différents matériaux de pulvérisation et la combinaison de matériaux pour former des films de 2 à 5 couches. L'équipement peut également créer des structures tandem et multicouches. Du côté du vide, le système fonctionne de 1x10-4 à 1x10-6Pa avec une unité principale de pompage, une pompe turbomoléculaire, un tuyau de retenue et l'option forepump. Côté extérieur, l'interface d'automatisation avancée assure un contrôle, une surveillance et un fonctionnement faciles à distance. La machine offre également des commandes de données et de logiciels pour les paramètres de processus tels que l'épaisseur de revêtement préférée, le temps de séjour, la vitesse de la pompe, le temps de pompe, et la tension flottante. ULVAC Ceraus Z-1000 est un outil de pulvérisation à vide moyen avec une conception de chambre intégrée. Il présente des taux de dépôt élevés, un contrôle précis des procédés et un dépôt en couches minces de haute qualité. Il est idéal pour la recherche et la production de films minces de haute précision avec des exigences strictes pour la composition des films, la performance des films et la taille des substrats.
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