Occasion ULVAC Ceraus Z-1000 #9083925 à vendre en France

ULVAC Ceraus Z-1000
ID: 9083925
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
PVD system, 8" 1998 vintage.
ULVAC Ceraus Z-1000 est un équipement de pulvérisation perfectionné conçu pour le dépôt en couches minces. Il s'agit d'un système compact et performant doté d'une nouvelle conception de source de pulvérisation qui permet des vitesses de pulvérisation élevées, une meilleure uniformité des dépôts et un débit plus élevé. La source de pulvérisation utilise une technologie avancée de pulvérisation magnétron à courant continu (DC) qui fournit des taux de dépôt élevés avec une bonne uniformité et des profils de film. En outre, l'unité a été conçue avec des contrôles sophistiqués de température et de pression, qui fournissent un excellent contrôle du processus et la reproductibilité. Ceraus Z-1000 dispose d'une puissante machine de commande alignée sur ordinateur avec contrôle automatique des paramètres de pulvérisation tels que la tension, la pression, les flux de gaz et la température du substrat. Ceci assure un dépôt optimal d'une grande variété de matériaux à couches minces différentes. L'outil comprend un réacteur à haute température T/E Sapphire FE (HTR) avec une capacité de chauffage de 5 zones, une source de résonance cyclotron électronique à haute densité d'électrons à courant continu (ECR) avec une puissance de 12 kW, et une unité de pompage à vide normale et élevée entièrement intégrée. L'actif ULVAC Ceraus Z-1000 est idéal pour de nombreuses applications en couches minces. Il peut être utilisé pour le dépôt de films métalliques, semi-conducteurs, diélectriques et organiques/photorésistants. Il supporte jusqu'à quatre échantillons, qui peuvent être chargés simultanément en configuration carrée ou ronde. Avec son taux de pulvérisation rapide pouvant atteindre 107 angström/s, le modèle peut produire des films minces de haute qualité rapidement et efficacement. En outre, Ceraus Z-1000 dispose de capacités de diagnostic avancées, y compris l'analyse in situ des rayons X et les techniques optiques et de microscopie électronique. L'équipement comprend également un logiciel AutoTsantéTM intégré, qui permet une optimisation simplifiée du processus de pulvérisation. Le système permet un contrôle simple et intuitif de tous les paramètres du processus, assurant la reproductibilité et la répétabilité du processus de dépôt. ULVAC Ceraus Z-1000 est un outil idéal pour les procédures de dépôt en couches minces. Il a une conception compacte et une puissante unité de commande alignée sur ordinateur qui fournit un excellent contrôle du processus et la reproductibilité. Avec sa vitesse de pulvérisation élevée, sa source de résonance cyclotron électronique de grande puissance (ECR) et ses capacités de diagnostic in situ, Ceraus Z-1000 offre une grande flexibilité pour répondre aux besoins de tout projet de dépôt en couches minces.
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