Occasion ULVAC Ceraus Z-1000 #9198269 à vendre en France

ULVAC Ceraus Z-1000
ID: 9198269
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" BM.
ULVAC Ceraus Z-1000 est un équipement de pulvérisation ultramoderne. Le système de pulvérisation est constitué d'une chambre, d'une source de pulvérisation, d'une unité de vide, d'une machine d'alimentation en gaz et d'une unité de contrôle de traitement. L'outil est conçu pour déposer un film mince de matériau désiré sur un substrat. La chambre de pulvérisation est une chambre cylindrique à flasque central. La chambre est en acier inoxydable et est résistant à la pression jusqu'à 10 torr. Il dispose d'une fenêtre de 12 pouces de diamètre et de deux ports de 4 pouces pour les connexions de brides. La chambre est équipée d'un équipement de porte automatisé, qui permet un accès facile et un chargement et un déchargement rapides des substrats. La source de pulvérisation est un pistolet à diode avec un port de canon ED et un port de canon Mo. Il génère un plasma haute densité produit à partir du gaz d'Argon, qui est utilisé pour pulvériser la surface d'un substrat. Le pistolet à pistolet est relié à une alimentation, qui est conçue pour fournir une commande de puissance variable. Le procédé de pulvérisation est également contrôlé par l'intermédiaire de l'unité de contrôle de traitement. Le modèle à vide se compose d'une pompe rotative, d'une pompe turbomoléculaire et d'une combinaison de chicanes et de pièges. Les pompes sont conçues pour fournir un environnement vide propre et sec à l'intérieur de la chambre. L'assemblage de chicanes et de pièges est utilisé pour éliminer les polluants et les débris qui peuvent être produits pendant le processus de pulvérisation. L'équipement d'alimentation en gaz est conçu pour introduire du gaz Argon dans la chambre pendant le processus de pulvérisation. Il est relié à la fois au pistolet cathodique et au système de vide. L'unité d'alimentation en gaz est équipée de capteurs de pression sophistiqués, qui sont utilisés pour contrôler la pression à l'intérieur de la chambre. Ceci garantit que la pression reste au niveau optimal pour le processus de pulvérisation. L'unité de contrôle de traitement est utilisée pour surveiller et contrôler tous les processus impliqués dans le processus de pulvérisation. Il est équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels que des régulateurs de température et de pression. Il a également la possibilité d'afficher diverses informations sur le procédé, telles que la pression et la température à l'intérieur de la chambre. Ceraus Z-1000 est une machine de pulvérisation avancée qui est utilisée pour le dépôt de couches minces sur des substrats. C'est un outil fiable et polyvalent qui permet un contrôle précis des paramètres du processus et qui convient à diverses applications de pulvérisation.
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