Occasion ULVAC Ceraus Z-1000 #9400323 à vendre en France

ULVAC Ceraus Z-1000 est un équipement de pulvérisation qui est conçu pour déposer des films de métaux et d'isolants sur une gamme de substrats à des épaisseurs contrôlées avec précision. Le système est constitué d'une source d'ions, d'une chambre et d'un réseau de ports de pompage sans hydrocarbures. La source d'ions est alimentée par un générateur RF et fournit une forte densité d'ions pour une pulvérisation uniforme. La chambre est en aluminium ou en acier inoxydable et est contrôlée en température à ± 2 ° C près. Il existe une gamme de cibles refroidies à l'eau montées sur un pilote cible et les cibles sont pré-enduites d'une forme de solution ConAg pour prévenir les dégazages et minimiser la contamination. Le Z-1000 utilise un procédé unipolaire de pulvérisation magnétron avec un champ magnétique puissant provenant d'un aimant permanent qui assure un dépôt uniforme de couches minces sur l'ensemble de la plaquette. Les composants à l'intérieur de la chambre sont isolés les uns des autres pour éviter toute interférence entre la source d'ions et le processus de dépôt. La configuration réglable de l'entrée de gaz, des sources de gaz externes et du spectromètre de masse de gaz permet un contrôle précis des paramètres du processus tels que la pression et le débit de gaz. Le Z-1000 dispose également d'une unité de surveillance in situ qui fournit une analyse en temps réel du processus de dépôt. Cette machine enregistre le profil du film, la vitesse de dépôt et d'autres données. Il y a une analyse post-dépôt des caractéristiques du film par rapport aux résultats attendus sans avoir à arrêter le procédé. Ceraus Z-1000 est un outil de pulvérisation très précis qui utilise des technologies de plasma de pointe pour obtenir des dépôts de couches minces uniformes. Il permet un contrôle précis des paramètres du procédé et une surveillance in situ pour un contrôle précis du processus de dépôt. L'actif est adapté à une gamme de métaux et d'isolants sur une variété de substrats. Le Z-1000 est un outil efficace pour la recherche et les applications de dispositifs.