Occasion ULVAC Ceraus ZX-1000 #9028395 à vendre en France

ULVAC Ceraus ZX-1000 est un équipement de pulvérisation sous vide polyvalent à haut débit conçu pour diverses applications de dépôt en couches minces. Il est idéal pour le dépôt de couches minces d'oxyde, de nitrures et de semi-conducteurs tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le nitrure de titane et l'oxyde de titane. Le système dispose d'une grande capacité de plaquette de 4 pouces, jusqu'à trois sources de pulvérisation, et un pistolet à disque RF haute puissance pour les applications de revêtement dur. L'unité est également livrée avec un générateur RF de 10 mégawatts pour le dépôt à haut débit. Au cœur de l'ULVAC CERAUS ZX 1000 se trouve sa chambre de dépôt polyvalente. La chambre est construite en acier inoxydable et a un volume intérieur de 50 litres. Il dispose également d'une machine à pompe à vide et d'une chambre porteuse avec portes obturatrices qui permet un échange rapide de substrats. La chambre est complétée par un pistolet à pulvérisation magnétron et une source d'ions pour le dépôt assisté par ions. Le pistolet à disque RF haute puissance de l'outil est inclus pour les applications de revêtement dur. Il a une puissance maximale de 1.2kW et peut délivrer jusqu'à 600A de courant. Le pistolet est monté sur un bras de travail réglable séparément, permettant un réglage précis des coordonnées centrales de la cible. Le pistolet peut fonctionner sous pression aussi basse que 0.005Pa et a un angle de cible réglable de 0 à 360 ° pour répondre aux exigences spécifiques de l'utilisateur. Ceraus ZX-1000 est équipé d'un outil de mesure de haute précision pour tous les paramètres de dépôt par pulvérisation. Le modèle intègre un cristal de mesure de précision, qui mesure la densité de puissance, la vitesse de dépôt et l'angle d'incidence. Le processus de collecte des données est piloté par ordinateur, ce qui permet un contrôle précis des paramètres du processus. L'équipement est installé avec un panneau de contrôle multi-utilisateurs avec quatre options linguistiques, permettant une surveillance simultanée en temps réel et la collecte de données par plusieurs utilisateurs. Le système d'entraînement est également équipé d'un micro-processeur 16 bits qui permet un contrôle précis de la vitesse de dépôt. L'unité est également compatible avec une gamme de plates-formes, telles que PC et EPICS, pour permettre une intégration facile dans les environnements logiciels existants. Dans l'ensemble, CERAUS ZX 1000 est une machine à pulvériser exceptionnelle, parfaite pour des procédés allant du dépôt de couches minces de précision à des applications de revêtement dur. Il offre des performances supérieures, une excellente précision de processus, et un rapport qualité-prix attrayant.