Occasion ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274937 à vendre en France
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ID: 9274937
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2011
Sputtering system, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti / TiN LTS
Ti
AI
Cryo pump: CRYO-T8PN
(4) RS5 Refrigerators
2011 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000 est un équipement de pulvérisation développé par ULVAC, un fabricant de technologie de pointe de systèmes de dépôt et de pulvérisation à couches minces. Il est conçu pour un contrôle indépendant de la puissance des pulvérisateurs, de la fréquence des impulsions, de la vitesse angulaire, de la zone cible/pression et du débit d'air, permettant une formation de film de haute précision et une meilleure productivité. En utilisant l'ULVAC CERAUS ZX 1000, les utilisateurs peuvent simultanément former des films de jusqu'à quatre matériaux sur un seul substrat. Ceci est accompli par la technologie brevetée à double cible, qui utilise une cible tournante. Cette technologie permet un dépôt plus rapide en augmentant les particules de pulvérisation aux angles incidents. La technologie à double cible permet également d'injecter efficacement des particules sur chaque matériau pulvérisateur, ce qui le rend compatible avec une variété de substrats et de matériaux. Ceraus ZX-1000 utilise un système de pulvérisation circulaire plat, augmentant l'efficacité en permettant l'installation de cibles multiples. Cette unité permet l'optimisation des conditions de formage du film et des changements de processus rapides. Il est également compatible avec de multiples types d'entrées, notamment Ar, O2, N2 et gaz rares, ainsi que de multiples sources, dont le courant continu (DC), la basse fréquence (LF) et la décharge radiofréquence (RF). CERAUS ZX 1000 est composé d'une chambre à vide, qui est scellée par une vanne de grille et intègre un type de machine de refroidissement à flux d'air qui évite les fuites de chaleur dans la chambre. À l'intérieur de la chambre se trouve l'outil de pulvérisation, y compris la cible, le plateau, la plaque de masse et le groupe motopropulseur. Le procédé de pulvérisation utilise un champ magnétique pour optimiser la surface du matériau pulvérisé. Ceci assure un dépôt de film plus uniforme. Les matériaux cibles peuvent être choisis pour répondre à des exigences d'application spécifiques et peuvent aller du carbone, de l'aluminium, du cuivre et de l'acier inoxydable. ULVAC Ceraus ZX-1000 est entièrement automatisé et comprend des caractéristiques de sécurité sophistiquées pour une efficacité et une protection maximales. Cet atout est facile à utiliser et comprend plusieurs ensembles de fonctionnalités, ce qui en fait une solution idéale pour les applications industrielles et de recherche.
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