Occasion ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274945 à vendre en France
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ID: 9274945
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Sputtering systems, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti/TiN LTS
Ti
Al
Cryo pump: Cryo-T8PN
With (4) RS5 Refrigerators
1996 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000 est un équipement de pulvérisation thermique conçu pour permettre une large gamme d'applications pour la technologie de dépôt en couches minces. Il utilise la pulvérisation radio à haute fréquence (RF) réactive pour produire des films d'épaisseur uniforme, de haute densité, de faible contrainte et d'excellentes propriétés électriques et optiques. Grâce à cette technologie, des films minces peuvent être appliqués sur des substrats métalliques, vitreux ou céramiques de toute forme ou taille, ce qui permet d'adapter les propriétés du film et, en fin de compte, de créer des structures complexes. ULVAC CERAUS ZX 1000 dispose d'un design modulaire qui permet de le configurer pour répondre aux exigences spécifiques d'une application donnée. Il dispose de deux chambres ; une chambre de processus et une chambre de pré-processus. Dans la chambre de procédé, la pulvérisation RF est utilisée pour déposer des couches minces sur un substrat dans un environnement contrôlé. Cette chambre dispose d'un système de pulvérisation à fréquence piétonne qui permet des vitesses de dépôt élevées et un contrôle précis des paramètres du procédé. Dans la chambre de prétransformage, diverses techniques de préparation de films peuvent être mises en oeuvre telles que le dégazage, la décharge brillante et la gravure légère O2. L'unité est équipée d'un logiciel de pointe conçu pour permettre un contrôle efficace et précis de l'ensemble du processus de dépôt. Il dispose de plusieurs fonctionnalités avancées, y compris les cycles de nettoyage sous vide, la protection auto-restauration, l'arrêt aux conditions prédéterminées, et l'enregistrement des données. La machine est également conçue pour être conviviale, avec des opérations intuitives et personnalisables. Le procédé de pulvérisation RF peut être utilisé pour déposer une large gamme de matériaux en couches minces tels que des films métalliques, d'oxyde, de nitrure et d'alliage. Ces films peuvent être déposés à des épaisseurs allant de quelques nanomètres (nm) à plusieurs millimètres et peuvent être utilisés dans des applications telles que les semi-conducteurs, les écrans plats, les composants optiques et les dispositifs médicaux. Ceraus ZX-1000 a également la capacité d'appliquer des revêtements anti-reflet, des revêtements de protection et des films d'oxyde décoratifs. Grâce à ses fonctionnalités et capacités très avancées, le CERAUS ZX 1000 est un outil de pulvérisation hautement polyvalent et efficace. Sa conception modulaire et son logiciel sophistiqué le rendent facile à personnaliser pour n'importe quel environnement d'application spécifique et sa construction robuste assure un dépôt de film de qualité et un fonctionnement fiable pour les années à venir.
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