Occasion ULVAC Ceraus ZX-1000 #9409842 à vendre en France

ULVAC Ceraus ZX-1000
ID: 9409842
Sputtering system.
ULVAC Ceraus ZX-1000 est un équipement de pulvérisation perfectionné conçu pour déposer des matériaux en couches minces sur des substrats de manière très précise. Il utilise une variété de matériaux sources, y compris des métaux, des alliages, des métaux, des polymères, des isolants et d'autres matériaux spécialisés, pour créer une gamme de structures de couches minces diverses. Le système est capable de couvrir jusqu'à quatre mètres carrés de surface de dépôt avec trois procédés de dépôt différents, à savoir la pulvérisation à courant continu ou magnétron, la pulvérisation par faisceau d'ions (IBS) et l'évaporation par faisceau d'électrons (EB). L'unité dispose d'une conception de chambre robuste, avec une machine de pompage turbomoléculaire rotative à 4 étages qui maintient la pression dans la chambre en dessous d'un millionième d'atmosphère. Il dispose d'une tourelle basculante multi-positions pour un échange facile de substrat, et d'une option de cuisson d'échantillons externe pour maintenir un environnement de chambre optimal pendant les opérations. De plus, la chambre dispose d'un outil d'injection interne de gaz pour le contrôle de l'atmosphère et d'une unité de contrôle automatique de gaz pour le réglage automatique du débit. L'actif comprend une alimentation Tofutron RF/DC avec une technologie avancée d'alimentation par impulsions hybrides et une option de générateur haute fréquence, permettant un taux de dépôt élevé et une meilleure stabilité du procédé. L'alimentation peut être couplée avec d'autres composants du processus plasma, y compris une source d'énergie bipolaire HF/DC et des sources magnétron avancées avec des configurations d'alimentation haute fréquence. Cette combinaison de paramètres multiples au sein du modèle permet un contrôle précis des taux de dépôt des matériaux, de l'uniformité, de l'adhérence et des niveaux de perfection cristalline. ULVAC CERAUS ZX 1000 offre une grande variété de fonctionnalités pour les applications de pulvérisation de haute précision. Il dispose d'un équipement de surveillance avancé pour le contrôle étroit des processus, y compris l'oxygène et les jauges inertes, un écran de manomètre, et des photos SEM. Il permet également la surveillance et le contrôle à distance du système via une interface tactile. En outre, l'unité offre des caractéristiques de sécurité avancées, telles qu'une machine de détection de gaz, un outil de nettoyage et une fonction d'arrêt d'urgence. En conclusion, Ceraus ZX-1000 est un atout avancé et fiable conçu pour les applications de pulvérisation de précision. Il offre diverses caractéristiques de pointe telles qu'une conception de chambre robuste, des configurations de processus de dépôt multiples, des alimentations RF/DC avancées et des systèmes de sécurité intégrés. Ces caractéristiques garantissent des procédés en couches minces de haute qualité, faisant du modèle un choix idéal pour la recherche et la production d'applications de pulvérisation.
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