Occasion ULVAC Ceraus #154325 à vendre en France

ULVAC Ceraus est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de couches minces et la fabrication de dispositifs. Le système se compose de quatre composants principaux : une chambre à vide, une pompe à ultra-haut vide (UHV), une source de pulvérisation à distance et une source d'énergie. La chambre à vide est le composant principal d'une unité de Ceraus et est la grande boîte métallique étanche où le substrat est placé pendant le processus de dépôt. Il se compose d'un tube cylindrique avec un couvercle amovible et comprend des vannes d'isolement, un manomètre et un viseur. Les soupapes d'isolement permettent d'accéder à d'autres composants de la machine, tandis que le manomètre et le viseur sont utilisés pour surveiller le niveau de vide et les conditions de traitement dans la chambre. La pompe à ultra-haut vide (UHV) est utilisée pour réduire la pression à l'intérieur de la chambre et évacuer les gaz résiduels. La pompe UHV fonctionne en créant un vide qui est ensuite maintenu par une combinaison de pompes primaires, secondaires et tertiaires. La source de pulvérisation à distance est un dispositif à plasma avec une anode et une cathode connectées à une source de tension. Il se compose d'un outil magnétique qui permet de contrôler le plasma. La source de pulvérisation à distance est utilisée pour déposer des couches minces sur le substrat de manière contrôlée. La source d'énergie est utilisée pour fournir la tension nécessaire au processus de pulvérisation. Il peut prendre la forme de DC, RF ou de DC pulsé. Les systèmes de pulvérisation ULVAC Ceraus sont capables de déposer des couches minces de divers matériaux, notamment des métaux, des alliages, des composés semi-conducteurs et des couches diélectriques. L'actif est utilisé dans des applications telles que les dispositifs photoniques, les composants d'affichage à écran plat, les cellules solaires et les couches minces. Le modèle de contrôle permet un contrôle précis du procédé de dépôt, ce qui le rend adapté à une fabrication haut de gamme.