Occasion ULVAC Ceraus #9137188 à vendre en France

ULVAC Ceraus est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour le contrôle avancé du dépôt de couches minces. Il est conçu pour fournir une excellente uniformité pour les substrats de grande surface ainsi que pour le haut débit. Le système dispose d'une conception de chambre à vide tout en un, qui est une chambre unique équipée de plusieurs stations de traitement - source, transfert et cible - dans laquelle des opérations telles que le chargement, la réception de substrats et la commutation entre les processus peuvent être effectuées. L'unité peut traiter un large éventail de matériaux de substrat tels que les semi-conducteurs, les métaux, la céramique et le verre. La machine Ceraus est équipée d'une alimentation RF haute performance et d'un contrôleur de processus, permettant des capacités de dépôt supérieures avec son mode de fonctionnement à quatre masques. Le mode à quatre masques utilise plusieurs cibles simultanément, permettant une distribution de puissance radio-fréquence variable entre chacune des cibles. Ceci offre un excellent contrôle des vitesses de dépôt et de l'uniformité des films tout en permettant aux techniciens de déposer des couches minces très diverses, de composition et d'épaisseur différentes. En outre, l'outil utilise des systèmes avancés d'isolation des dépôts et de contrôle de la température pour assurer une efficacité et une répétabilité maximales du procédé. L'élément isolant favorise un dépôt uniforme en limitant la perte de chaleur des parois de la chambre pendant le processus, tandis que le modèle de régulation de la température ajuste activement la température de dépôt pour une efficacité optimale du procédé. L'équipement ULVAC Ceraus est conçu pour des applications à haut débit avec des temps de chargement et de commutation rapides des substrats, permettant une production plus rapide. Son interface utilisateur facile à utiliser offre un large éventail de fonctionnalités telles que les entrées de recettes, la surveillance des processus et l'acquisition de données. Le système supporte également la mise en réseau, permettant la surveillance à distance et l'accès aux paramètres du processus. Ceraus est idéal pour une variété d'applications avancées dans les domaines de la photovoltaïque, capteurs, production de LED, MEMS, et micromachining. Il permet des taux de dépôt plus élevés et des films minces d'excellente qualité tout en offrant une excellente uniformité, répétabilité, une longue durée de vie, et la compatibilité avec un large éventail de matériaux.