Occasion ULVAC CS-200 #9156832 à vendre en France

ULVAC CS-200
ID: 9156832
Style Vintage: 2008
Sputtering system 2008 vintage.
ULVAC CS-200 est un équipement de pulvérisation conçu et fabriqué par ULVAC, un leader dans les technologies de vide. Il est conçu pour le dépôt de couches minces pour des applications incluant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, les composants optiques et le stockage de données. CS-200 est une tablette, système à chambre unique utilisant la pulvérisation magnétron. Il est facile à installer et convient pour des taux de dépôt faibles à modérément élevés. ULVAC CS-200 utilise une table de substrat circulaire avec jusqu'à 6 supports de substrat capables d'atteindre une taille maximale de 300 mm. Les sources sont montées directement au-dessus de la table du substrat et peuvent être déplacées indépendamment au-dessus de la surface du substrat pour créer des dépôts uniformes. L'unité peut accueillir jusqu'à quatre sources de pulvérisation, y compris des magnétrons standard et des sources de pulvérisation rf. Une pompe turbomoléculaire fournit à la machine une pression de base de 2 x 10-5 Pa. Elle est couplée à une pompe à aubes rotatives pour une vitesse totale de pompage de 10 000 L/s. Il dispose également d'une interface d'écran tactile propre, polyvalente et facile à utiliser. CS-200 profite également de multiples dispositifs de sécurité, y compris un outil d'entretoisement de pression qui désactive automatiquement les sources de haute tension lorsque la pression monte au-dessus du point de consigne, un obturateur motorisé qui empêche l'exposition involontaire à la chambre, et un moniteur de soufflante pour assurer un bon refroidissement des sources d'énergie. ULVAC CS-200 est le choix idéal pour les applications de pulvérisation à faible ou modéré débit, y compris celles nécessitant des cibles multiples. Ses caractéristiques avancées, telles que le mouvement indépendant des sources et un atout d'entrelacement sous pression de haute précision, garantissent la répétabilité et le dépôt précis du film. Le fonctionnement fiable et très efficace de CS-200 permet aux utilisateurs de tirer le meilleur parti de leur modèle de pulvérisation.
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