Occasion ULVAC EI-5 #9107280 à vendre en France

ULVAC EI-5 est un équipement de pulvérisation perfectionné utilisé pour le dépôt en couches minces. Il fournit 5 chambres de pulvérisation simultanée (2 chambres vs 3 chambres) avec une flexibilité inégalée et une uniformité de pulvérisation, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications, y compris les matériaux magnétiques durs et doux, pour les dispositifs semi-conducteurs et MEMS de haute performance. La capacité de pulvérisation de biais de haute précision de EI-5 fournit la plus grande uniformité de processus sur une large surface, permettant une cohérence de produit supérieure sur une plaquette. Les caractéristiques de conception du système sont construites pour un contrôle précis et permettent à l'utilisateur de choisir parmi une variété de processus de pulvérisation, tels que la pulvérisation à haut débit DC, la pulvérisation à haut flux pulsé DC et la pulvérisation hybride à très haut débit DC/magnétron pulsé. Les dimensions réglables de la chambre offrent la capacité unique pour accueillir n'importe quelle taille de substrat, y compris les cadres à grande échelle. L'unité ULVAC EI-5 offre également des conceptions optimisées de pulvérisateurs qui améliorent l'uniformité des dépôts en couches minces et les taux d'utilisation cibles. La conception optimale de la cible élimine la nécessité d'utiliser plusieurs petites cibles, simplifiant et réduisant le coût de la réduction des processus de pulvérisation. De plus, la conception de blindage interne sur les cathodes de pulvérisation contribue à éliminer les risques de ligne de visée magnétique et évite la contamination croisée entre les chambres. La surveillance et le contrôle du processus en boucle fermée donnent des résultats cohérents et aident à optimiser le temps et la qualité d'exécution. EI-5 est équipé d'une variété de composants sous vide et d'accessoires pour répondre aux exigences les plus exigeantes, telles que les sources de pulvérisation, l'alimentation électrique, la manutention du gaz, les contrôleurs de processus et les systèmes de sécurité. Offrant une utilisation facile et des performances supérieures, ULVAC EI-5 est un incontournable pour les utilisateurs à la recherche d'une machine à pulvériser capable de fournir un produit fiable et de haute qualité. Avec sa conception modulaire et évolutive, il peut répondre à un large éventail d'exigences, des applications simples aux applications exigeantes, et est le choix idéal pour ceux qui cherchent à réduire les coûts et à maximiser les performances.