Occasion ULVAC Ei-5K #293603151 à vendre en France

ULVAC Ei-5K est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de couches minces. C'est un système de pulvérisation de qualité industrielle conçu pour un débit élevé. L'unité comporte une source de pulvérisation à double magnétron qui peut déposer plusieurs matériaux sur des substrats simultanément. La machine comprend également une cible rotative et un grand pas grossier qui aide à obtenir une meilleure uniformité. L'outil dispose d'une grande chambre pouvant accueillir jusqu'à 5000mm ^ 2 substrats, permettant un débit élevé et un temps de chargement réduit. Le support de substrat est motorisé et capable de charger et décharger rapidement des substrats et permet la rotation du substrat. L'actif comprend un élément chauffant avancé à haute température et un modèle de refroidissement réglable pour le substrat pendant le dépôt. La chambre est également équipée d'un équipement de filtration des fuites de la classe 100 Cleanroom qui permet d'éliminer efficacement les particules de la chambre et d'assurer un fonctionnement propre. Le contrôle et la surveillance du système sont effectués avec l'unité de contrôle RIB d'origine ULVAC. Cela permet d'analyser, d'ajuster et d'optimiser en temps réel les paramètres de la recette de pulvérisation lors du dépôt. La machine dispose d'une méthode d'exécution multi-tâches pour l'optimisation simultanée des dépôts et la détection des défauts. L'outil de contrôle RIB permet également de surveiller la température, la pression, le courant de suppression d'arc et la tension de polarisation du substrat. ULVAC EI 5 K a servi une variété d'applications différentes telles que le revêtement des écrans Si wafer OLED, des dispositifs de mémoire et des dispositifs de structure 3D. Cet actif de pulvérisation est adapté à toute application nécessitant un débit élevé et un contrôle exact pour produire des films minces. Le modèle offre une flexibilité maximale, permettant aux utilisateurs d'adapter facilement la recette à leurs besoins souhaités. Ei-5K est un équipement puissant et fiable pour le dépôt de couches minces très précises.