Occasion ULVAC Ei-5K #9364552 à vendre en France

ULVAC Ei-5K
ID: 9364552
Taille de la plaquette: 2"-6"
E-beam evaporator, 2"-6".
ULVAC Ei-5K est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour les applications de revêtement dur. C'est l'un des derniers développements de la gamme ULVAC. Le système dispose d'une unité de gestion du gaz pour un contrôle facile des sources de pulvérisation, ainsi que d'une conception dynamique avancée du vide pour un contrôle précis de la pression. La machine offre des pulvérisations à courant continu et RF avec une source d'énergie de 1-2 kW, permettant une excellente uniformité du film et des taux de dépôt élevés. ULVAC EI 5 K dispose également d'un puissant outil de serrage de substrat pour une stabilité maximale du procédé et des résultats fiables. Ei-5K dispose d'une chambre de verrouillage de charge à huit cibles avec une torche froide combinée et une chambre de processus. La chambre est adaptée pour la manipulation d'une large gamme de substrats, y compris de grands panneaux, jusqu'à 610 mm. et objets cylindriques. Il a une capacité de charge cible allant jusqu'à huit cibles et un actif à double boîte à gaz. EI 5 K a un modèle de support unique pour gérer plusieurs processus de dépôt avec différents aimants et d'autres éléments. Pour un contrôle supérieur des processus, ULVAC Ei-5K offre un détecteur de fuite d'hélium pour détecter les fuites de gaz, ainsi qu'un équipement de pointe pour surveiller et contrôler la température du substrat. Il dispose également d'un système de commande de puissance multi-segments pour permettre le dépôt précis de films d'une variété de matériaux. ULVAC EI 5 K dispose également d'une unité d'acquisition de données numériques, qui permet la télécommande et l'enregistrement de données par un ordinateur ou par PLC. Ei-5K est un excellent choix pour une variété d'applications de revêtement dur, comme le revêtement pour les pièces céramiques, les dispositifs médicaux, et les applications de couches minces ITO. Il convient également pour le dépôt des procédés de dépôt chimique en phase vapeur assistée par magnétron et plasma (PACVD). La machine offre une homogénéité et une stabilité remarquables de la distance cible-substrat, un chauffage limité du substrat et un excellent contrôle de la température. Pour garantir des résultats fiables et supérieurs, EI 5 K offre une variété de fonctionnalités automatiques, telles que le nettoyage automatique, l'aération automatique, la panne automatique et le verrouillage automatique. ULVAC Ei-5K est un choix idéal pour ceux qui recherchent des applications de revêtement dur haute performance.
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