Occasion ULVAC Ei-5K #9402604 à vendre en France

L'équipement de pulvérisation ULVAC Ei-5K est un outil de haute performance idéal pour les applications de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il peut déposer un large éventail de matériaux de manière contrôlée et répétable, ce qui le rend utile pour le dépôt de couches minces pour une variété de dispositifs de stockage de semi-conducteurs, d'optoélectroniques et d'énergie. Le système permet de traiter jusqu'à quatre substrats en un seul cycle sous vide. Les substrats peuvent varier de 2 « de diamètre jusqu'à 8 » de diamètre. ULVAC EI 5 K permet une large gamme de puissances plasmatiques allant de 0-3000W, avec une plage de puissance maximale de 200-2000W. Cette unité a également une large gamme de profils de contrôle d'épaisseur, allant de 0,1 à 1000nm, ce qui en fait un choix approprié pour une variété d'applications. Ses cellules d'effusion à double source alimentées par gravité permettent d'utiliser des sources distinctes pour différents travaux. On obtient ainsi des résultats optimaux pour chaque substrat. Les portes des cellules sont faciles à ouvrir pour le chargement et le déchargement des substrats. La machine utilise une large gamme de combinaisons de gaz de procédé, de O2 à Ar/N2, permettant différents types de couches. Il permet également une configuration source extérieurement épuisée. Cet outil est équipé d'un régulateur de débit massique à sept canaux, qui mesure le débit des gaz et l'entraíne à la pression désirée. L'actif offre une gamme de modes de dépôt, y compris la pulvérisation pulsée à courant continu, à courant continu et à courant continu + RF, permettant un meilleur contrôle de la vitesse de dépôt. Ce modèle dispose d'une chambre à vide robuste en cloche, ce qui le rend adapté à de multiples processus. De plus, ses caractéristiques de sécurité imbriquées garantissent la sécurité de l'équipement. En outre, le système dispose également d'une interface intuitive avec écran tactile avec la mémoire des recettes. Cela facilite la configuration et l'exécution des processus avec moins d'étapes. De plus, la capacité d'enregistrement intégré des données permet une évaluation plus facile des paramètres du processus. Enfin, Ei-5K est également livré avec du matériel didactique, ce qui le rend idéal pour les utilisateurs qui ne connaissent pas les configurations d'équipement. En conclusion, l'IE 5 K est un outil flexible et convivial qui convient bien à une variété d'applications PVD. Cette unité de pulvérisation offre une large gamme d'options de contrôle d'épaisseur, ainsi que différents modes de dépôt. De plus, son interface intuitive avec écran tactile permet un fonctionnement facile et l'enregistrement des données pour garantir des résultats précis.