Occasion ULVAC ei-6 #293758600 à vendre en France

ULVAC ei-6 est un équipement de pulvérisation largement utilisé dans de nombreux laboratoires industriels et scientifiques pour le dépôt de couches minces. C'est un système de pulvérisation perfectionné et économique, avec un design compact. Il est particulièrement adapté pour le dépôt de couches minces sur des cellules semi-conductrices, d'affichage et solaires. Ei-6 dispose d'un design innovant lui permettant d'atteindre une densité de puissance élevée dans un espace très réduit, tout en maximisant l'uniformité des processus. L'unité comprend une cible circulaire de 6 po de diamètre, un générateur RF à 6 poches avec 4 sources de courant continu, un régulateur d'impulsions ultra-haute vitesse, un régulateur de débit massique de gaz et un mandrin à vide. La machine est capable de réaliser des procédés de pulvérisation par pulvérisation réactive et non réactive avec un large éventail de matériaux cibles. L'outil de pulvérisation ULVAC ei-6 est conçu pour le dépôt rapide de couches minces utilisant l'actif sous vide en ligne. Le procédé de pulvérisation est réalisé dans une chambre à vide avec rotation cathodique séquentielle et commande de puissance RF. Les composants d'alimentation et de commande sont intégrés au modèle, ce qui élimine le besoin de contrôleurs externes ou d'alimentation. Cela améliore la stabilité du processus et augmente l'efficacité. Le contrôleur d'impulsions ultra-haute vitesse permet au processus de pulvérisation de passer de faible à forte puissance en très peu de temps. Ceci permet un dépôt de film épais en un temps beaucoup plus court par rapport aux systèmes classiques de pulvérisation. Le générateur RF à 6 poches est capable de délivrer jusqu'à 3 kW de puissance à la cible. La durée de l'impulsion est réglable, ce qui permet un développement optimisé du processus. Le mandrin sous vide à deux étages et à haute température permet un chauffage et un refroidissement rapides du substrat, permettant un dépôt uniforme des couches sur de grandes surfaces. Enfin, l'équipement de pulvérisation ei-6 offre une large gamme d'options de processus. En outre, son fonctionnement simple, combiné à sa conception logicielle intuitive, le rend idéal pour les laboratoires de démarrage et les développeurs de films. Ce système de pulvérisation offre une solution fiable et polyvalente pour le dépôt de couches minces.