Occasion ULVAC Entron EX W200S #9266623 à vendre en France
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ID: 9266623
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Sputtering system, 8"
SiO2, TiO2
2SP Chamber
2006 vintage.
ULVAC Entron EX W200S est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour un large éventail d'applications. Il est idéal pour le dépôt de films, la gravure, la gravure et d'autres applications de couches minces. Ce système dispose d'une unité de pompage turbomoléculaire avancée pour fournir un excellent environnement sous vide avec une excellente stabilité sous vide et fiabilité. Entron EX W200S utilise une chambre avec une capacité de mouvement en 4 dimensions, ce qui permet une manipulation précise de l'échantillon. Il comporte un étage de substrat rotatif ainsi qu'une cible de pulvérisation inclinable de degrés particuliers, permettant aux utilisateurs de déposer sous un large éventail d'angles pour améliorer la qualité du dépôt. La haute précision du mouvement est garantie avec le positionnement de base contrôlé par interféromètre laser-optique non contact, non magnétique, non commutatif. ULVAC Entron EX W200S est compatible avec une large gamme de matériaux tels que l'aluminium, le nickel, le chrome, le titane, le zinc, l'or, l'argent et les alliages. Il est capable de commander 6 sources magnétron avec une source de puissance pulsée, qui peut pulvériser un matériau élémentaire ou un matériau avec un matériau cible pour augmenter l'homogénéité des couches minces. De plus, la source de faisceau d'ions permet de lisser le film mince déposé et d'augmenter l'adhésion au substrat. Le processus de pulvérisation a été largement automatisé par le logiciel de gestion de processus embarqué avec une interface utilisateur graphique intuitive. Il est capable de réaliser des procédés complexes de pulvérisation à plusieurs étapes avec une répétabilité fiable. Cette machine dispose également d'une large gamme d'options de surveillance de processus, telles que la température des substrats, la pression, le courant, la tension, etc. Enfin, l'utilisation d'un outil de verrouillage en ligne en temps réel assure un fonctionnement sûr de l'actif. En conclusion, Entron EX W200S est un modèle de pulvérisation puissant et précis qui fournit aux utilisateurs des résultats de dépôt et de gravure fiables. Il est parfait pour tous les laboratoires nécessitant une grande fiabilité et d'excellents résultats.
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