Occasion ULVAC Entron EX W300 #9211053 à vendre en France
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L'équipement de pulvérisation ULVAC Entron EX W300 est un outil de pulvérisation robuste et multifonctionnel idéal pour diverses applications. Le W300 fournit à la fois Argon et Oxygène (ou autre gaz réactif) pulvérisation avec jusqu'à quatre canons travaillant simultanément avec le contrôle aussi fine que 1-millième de précision d'un millimètre pour la taille des caractéristiques. La chambre à vide haute peut accueillir deux plaquettes, ou jusqu'à 4 pouces de substrats ronds et une tension d'accélération nominale de 500 volts. Le dispositif utilise une source de pulvérisation Magnetron d'une puissance de 300 watts pour la pulvérisation Ar ou de 600 watts pour les gaz réactifs. Le W300 est conçu pour la robustesse et la fiabilité dans une gamme d'environnements de vide et de pulvérisation, y compris la R-D, la production à petite échelle et l'évaluation initiale de nouveaux matériaux. Le système puissant offre également un réglage avancé de la puissance avec contrôle des impulsions locales, permettant un contrôle complet des paramètres du processus. Le W300 permet aux utilisateurs d'effectuer simultanément le dépôt de matériaux et le traitement de surface, ce qui permet un débit d'échantillons plus élevé et une plus grande flexibilité. En plus d'assurer la précision et la répétabilité du processus, le W300 dispose également de capacités de traitement thermique semi-conducteur intégrées. L'unité utilise une lampe infrarouge à quartz multi-zones avec des radiateurs chauffés, fournissant une température de chauffage optimale jusqu'à 800 ° C pour les opérations de processus sensibles à la température. Un robot six axes perfectionné crée des voies de traitement multi-étapes, multi-pistes avec une navigation précise et une précision répétable, optimisant les processus tels que le retrait des couches d'oxyde et le dépôt des couches minces. Enfin, le W300 dispose d'une interface utilisateur intuitive permettant aux utilisateurs de s'adapter rapidement à l'outil et de rester informés à travers la circulation des données en temps réel et l'affichage graphique. Les systèmes intégrés de sécurité et de surveillance protègent les utilisateurs en surveillant automatiquement les données d'actifs et en se protégeant contre les scénarios de défaillance. Dans l'ensemble, ULVAC ENTRON-EX W300 est un modèle de pulvérisation puissant et fiable conçu pour répondre à un large éventail de besoins de traitement de matériaux liés au substrat.
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