Occasion ULVAC Entron EX W300 #9275306 à vendre en France
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ID: 9275306
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
System, 12"
EFEM
MF
(2) PVD
PC
Parts and racks
2011 vintage
ULVAC Entron EX W300 est un équipement de pulvérisation à haute performance et compact conçu pour le traitement des matériaux. Le système offre une productivité, une fiabilité et une précision accrues pour les applications de dépôt et de revêtement de précision. Il dispose d'une cathode magnétron avancée qui fournit une source d'énergie uniforme et cohérente pour le dépôt de film uniforme. ULVAC ENTRON-EX W300 est équipé d'un mécanisme de chauffage de substrat in situ, d'une chambre de verrouillage de charge multi-zones et d'une chambre d'ionisation côté arrière pour faciliter la qualité du film. ENTRON EX W 300 a une chambre de pulvérisation expansive qui augmente le débit de processus, permettant d'augmenter les capacités de substrat avec une taille d'étape de 4 pouces. L'unité utilise une machine de refroidissement à deux étages très efficace pour la cathode de pulvérisation afin d'assurer des températures de cathode optimales et une utilisation à long terme. L'outil est équipé d'une source de gaz pulvérisateur à vide avec des connexions à des pompes à vide et une alimentation directe en gaz pulvérisateur qui s'échange entre la chambre et la serrure de charge. De plus, l'actif offre un procédé de pulvérisation à basse pression pour le dépôt sur des substrats non conducteurs. Pour une meilleure qualité de dépôt, le modèle comporte une table de rotation des substrats qui permet de traiter des architectures de films complexes. Il comprend le chargement et le déchargement automatiques du substrat à l'aide d'un équipement Peltier-can et est équipé d'un système multi-zone de purge des gaz pour maintenir un environnement propre au sein de l'unité et contrôler l'interface substrat-plasma. De plus, le ULVAC ENTRON EX W 300 est intégré à un logiciel adapté qui permet un accès à distance à la machine, offrant un fonctionnement simple et une surveillance des processus. ENTRON EX W300 fournit un dépôt et un contrôle de film de qualité supérieure pour de multiples applications de dépôt par pulvérisation et est construit avec des matériaux durables, ce qui en fait un outil de pulvérisation agile et robuste. Cet atout de pulvérisation est un choix idéal pour les industries telles que l'automobile, l'aérospatiale, l'électronique, la biomédicale et l'optique.
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