Occasion ULVAC Entron EX W300 #9282018 à vendre en France

ID: 9282018
Taille de la plaquette: 12"
PVD System, 12" 2011 vintage.
ULVAC Entron EX W300 est un équipement de pulvérisation à base de magnétron parallèle conçu pour des procédés de revêtement de précision et des applications uniformes en couches minces. Ce système de pulvérisation en parallèle à grande surface est doté d'un procédé de pulvérisation simultanée multi-précurseurs pour améliorer la qualité du revêtement et le dépôt uniforme sur de larges plaquettes. L'unité ULVAC ENTRON-EX W300 comprend une chambre de verrouillage de charge intégrée, une chambre de traitement et des alimentations électriques indépendantes pour chaque source de pulvérisation. La machine W300 peut atteindre une très grande uniformité grâce à sa conception unique qui comprend plusieurs supports de substrat dans une seule chambre. Cela peut permettre à un seul jet de pulvérisation de produire des couches minces uniformes sur de grandes surfaces, telles que des plaquettes de 150 mm. L'outil dispose d'une alimentation Direct Diode Bias pour un contrôle précis et une précision précise pour optimiser les résultats du processus. En outre, le W300 dispose d'une conception de chambre de serrure verticale qui aide à éliminer les problèmes de contamination. La combinaison d'une puissante alimentation en courant continu/RF, d'une double source et de deux modules permet d'améliorer l'uniformité des couches minces et une partie non ombragée du modèle contribue à améliorer l'uniformité sur les substrats tubulaires de grande taille. ENTRON EX W 300 dispose également d'un équipement sous vide robuste qui aide à produire des films de haute activité qui augmentent leur durée de vie et leur fiabilité. Son contrôle dynamique des procédés en fait également un choix idéal pour les procédés de revêtement de haute précision. Ce système est également bien adapté pour réaliser des revêtements optiques en couches minces tels que des revêtements antireflet et à haute réflectivité. ENTRON EX W300 est compatible avec divers substrats, dont les métaux, le verre et la céramique. ULVAC ENTRON EX W 300 est une unité de revêtement idéale pour la production de couches minces pour une grande variété d'applications. Sa conception robuste et sa grande précision le rendent adapté aux procédés de revêtement de précision et aux applications uniformes en couches minces. La machine est également bien adaptée pour les revêtements optiques à couches minces et est compatible avec une large gamme de substrats.
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