Occasion ULVAC Entron EX W300 #9282020 à vendre en France
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ID: 9282020
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
PVD System, 12"
2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300 est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt avancé de couches minces. Ce système utilise une large gamme de techniques efficaces et fiables de revêtement des pulvérisateurs pour créer des couches minces magnétiques, optiques, transparentes et conductrices de haute performance. Avec la technologie de pulvérisation à arc multiple et plusieurs options de revêtement supplémentaires, telles que la puissance dynamique bi-polaire pulsée et la pulvérisation réactive, l'unité permet des structures de film précises et complexes. La machine se compose d'une unité principale avec un module de commande entièrement automatisé, un chargeur/casier coaxial indépendant qui offre des formes et des tailles de substrat flexibles, une unité de fréquence radio cathodique et une unité de commande magnétron innovante. Cet outil offre des performances supérieures pour pulvériser des films ultra-minces de haute qualité. Afin d'atteindre des performances de film maximales, ULVAC ENTRON-EX W300 peut fournir différents procédés de pulvérisation, tels que la pulvérisation inerte classique, la pulvérisation réactive, la pulvérisation cathodique annulaire et la pulvérisation cône cuve ainsi que les cibles à double et triple tête. Ces procédés peuvent être utilisés pour créer des films minces composés, des revêtements durs et des films multicouches. De plus, ils permettent des taux de dépôt élevés ainsi qu'une meilleure homogénéité de pulvérisation. En plus de ses capacités de pulvérisation, l'actif ENTRON EX W 300 permet également une manipulation facile et flexible du substrat. Les utilisateurs peuvent traiter facilement des substrats de différentes tailles et formes, des plaquettes aux pièces rectangulaires. L'étage de substrat présente une détection capacitive du point d'extrémité qui assure une uniformité de dépôt optimisée sur la surface. Le modèle est également équipé d'un enregistreur de données pour une collecte de données fiable qui permet aux utilisateurs d'inspecter facilement les données collectées. Cet équipement est également capable d'acquérir des données de processus pour l'analyse RGA et l'optimisation des paramètres de processus. En outre, le système est capable d'effectuer un traitement à température contrôlée car il peut être équipé de supports de substrat à température contrôlée. ENTRON EX W300 est une unité de pulvérisation avancée qui offre des performances élevées, une uniformité de dépôt optimisée ainsi que de nombreuses options de processus. Il convient à de nombreuses applications, de la création de revêtements optiques et de couches minces à la fabrication de composants de précision.
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