Occasion ULVAC Entron EX W300 #9353969 à vendre en France
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ID: 9353969
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Sputtering system, 12"
Load module:
Load port
Robot arm
Transfer module: (2) Robot arms
Process module: (8) Chambers
Utility:
AC Rack
Pump rack
DC Power supply rack
Heater rack
2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300 est un système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) spécialement optimisé pour le dépôt de métaux, d'alliages, de diélectriques et d'autres matériaux sur des substrats. L'unité est idéale pour la création de couches minces pour une gamme d'applications allant des cellules solaires aux composants optoélectroniques. La configuration machine d'ULVAC ENTRON-EX W300 comprend une unité de base avec deux chambres à vide indépendantes et un mécanisme de verrouillage de charge. Cela permet de traiter simultanément jusqu'à deux tailles de substrat. Le moteur à entraînement direct est capable de fournir un dépôt précis et répétable d'une variété de matériaux et de finitions de surface avec des résultats constamment répétables. ENTRON EX W 300 est équipé d'un outil de pulvérisation ULVAC éprouvé sur le terrain « PowerWave ». Cela permet le dépôt sélectif de deux matériaux différents avec des réglages de puissance indépendants dans un seul cycle de dépôt. L'actif est également équipé de quatre cathodes dans chaque chambre à vide, permettant de pulvériser simultanément jusqu'à quatre matériaux. ENTRON-EX W300 est en outre équipé d'une large gamme de porte-échantillons et de jigs pour accueillir différents types d'échantillons et de substrats. Ceux-ci permettent un positionnement précis et répétable des substrats au cours du processus de dépôt. Ceci assure une couverture uniforme des films sur toute la surface. Entron EX W300 est également équipé de systèmes de contrôle avancés, y compris un panneau de contrôle de processus intégré et un contrôleur d'écran tactile PLC à jour. Cela permet un contrôle convivial et automatisé de l'ensemble du processus de pulvérisation. En outre, le modèle peut être connecté à une variété d'autres systèmes pour l'enregistrement des données et le guidage de l'opérateur. Dans l'ensemble, ENTRON EX W300 est idéal pour créer des films minces précis et de haute qualité avec une variété de matériaux. Son contrôle automatisé, son dépôt précis et son équipement de gabarit de pointe permettent des taux de couverture uniformes et des pulvérisations répétables de divers matériaux dans un même cycle de dépôt. ULVAC ENTRON EX W 300 est un système de pulvérisation cathodique fiable, économique et performant qui est idéal pour une gamme d'applications en couches minces.
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